横向双扩散场效应晶体管、制作方法、芯片及电路
摘要:
本发明提供一种横向双扩散场效应晶体管、制作方法、芯片及电路,涉及半导体技术领域。晶体管包括:衬底;阱区,形成于衬底;体区和漂移区,形成于阱区;异质结延伸区,形成于漂移区的上表面,异质结延伸区包括漂移延伸层和层叠设置于漂移延伸层之上的碳化硅延伸层,漂移延伸层与碳化硅延伸层具有不同的导电类型,漂移延伸层与漂移区具有相同的导电类型;氧化介质层,形成于漂移区的上表面,位于异质结延伸区的两侧;栅极,形成于体区之上;源极,形成于体区;漏极,形成于漂移区。通过本发明提供的晶体管,能够减轻漂移区表面电子的聚集,改善自热效应,避免载流子迁移率下降,降低热载流子效应,提高击穿电压,提高器件性能和可靠性。
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