空气介质场板隔离的LDMOSFET器件及制造方法
Abstract:
本发明涉及半导体领域,提供一种空气介质场板隔离的LDMOSFET器件及制造方法。LDMOSFET器件包括半导体衬底、漂移区、体区、阱区、源极、漏极以及栅极,还包括:场板以及场板隔离结构,场板隔离结构包括空气介质腔和氧化层,空气介质腔形成于漂移区内,氧化层用于封闭空气介质腔,场板形成于氧化层的表面。本发明采用封闭的空气介质腔作为场板隔离介质层,相对于采用二氧化硅场板隔离介质层,本发明的空气介质腔中的空气与漂移区的硅直接接触,彻底消除SiO₂‑Si的界面态,提高LDMOSFET器件的可靠性;并且,空气的介电常数远小于二氧化硅的介电常数,空气介质的场板隔离结构可以更好的降低表面电场,提高器件的击穿电压。
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