Invention Grant
- Patent Title: 空气介质场板隔离的LDMOSFET器件及制造方法
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Application No.: CN202310060867.5Application Date: 2023-01-19
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Publication No.: CN115863416BPublication Date: 2023-05-02
- Inventor: 余山 , 陈燕宁 , 付振 , 刘芳 , 赵扬 , 朱松超 , 刘春颖 , 邵亚利 , 沈美根 , 鹿祥宾 , 李君建
- Applicant: 北京智芯微电子科技有限公司 , 北京芯可鉴科技有限公司
- Applicant Address: 北京市海淀区西小口路66号中关村东升科技园A区3号楼;
- Assignee: 北京智芯微电子科技有限公司,北京芯可鉴科技有限公司
- Current Assignee: 北京智芯微电子科技有限公司,北京芯可鉴科技有限公司
- Current Assignee Address: 北京市海淀区西小口路66号中关村东升科技园A区3号楼;
- Agency: 北京润平知识产权代理有限公司
- Agent 封瑛
- Main IPC: H01L29/51
- IPC: H01L29/51 ; H01L29/78 ; H01L21/336
Abstract:
本发明涉及半导体领域,提供一种空气介质场板隔离的LDMOSFET器件及制造方法。LDMOSFET器件包括半导体衬底、漂移区、体区、阱区、源极、漏极以及栅极,还包括:场板以及场板隔离结构,场板隔离结构包括空气介质腔和氧化层,空气介质腔形成于漂移区内,氧化层用于封闭空气介质腔,场板形成于氧化层的表面。本发明采用封闭的空气介质腔作为场板隔离介质层,相对于采用二氧化硅场板隔离介质层,本发明的空气介质腔中的空气与漂移区的硅直接接触,彻底消除SiO₂‑Si的界面态,提高LDMOSFET器件的可靠性;并且,空气的介电常数远小于二氧化硅的介电常数,空气介质的场板隔离结构可以更好的降低表面电场,提高器件的击穿电压。
Public/Granted literature
- CN115863416A 空气介质场板隔离的LDMOSFET器件及制造方法 Public/Granted day:2023-03-28
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