一种中长波双色红外探测器
摘要:
本发明提供了一种中长波双色红外探测器,包括:GaSb衬底;在GaSb衬底生长的GaSb缓冲层;在GaSb缓冲层生长的长波通道下接触层,其中,长波通道下接触层为100nm厚的14InAs/7GaSb超晶格,并进行Si掺杂;在长波通道下接触层生长的长波通道吸收层,其中,长波通道吸收层为1600nm厚的14InAs/7GaSb超晶格;在长波通道的吸收层生长的公共势垒层,其中,公共势垒层为100nm厚的AlGaSb;在公共势垒层生长的中波通道吸收层,其中,中波通道吸收层为2000nm厚的InAs/InAsSb超晶格;在中波通道吸收层生长的中波通道上接触层,其中,中波通道上接触层为100nm厚的InAs/InAsSb超晶格,并进行Si掺杂;在中波通道上接触层生长的顶电极层,在GaSb缓冲层生长的底电极层。本发明降低器件暗电流,提高器件探测性能,具有良好的探测效果。
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