发明公开
- 专利标题： 密封真空电子器件内部压力的测量装置及方法
-
申请号： CN202310017768.9申请日： 2023-01-06
-
公开(公告)号： CN116046245A公开(公告)日： 2023-05-02
- 发明人: 杨传森 , 卢耀文 , 陈千睿 , 吴端 , 陈静 , 陈俊儒 , 宋春尧 , 郭宇扬
- 申请人： 北京东方计量测试研究所
- 申请人地址： 北京市海淀区知春路82号1001室
- 专利权人： 北京东方计量测试研究所
- 当前专利权人： 北京东方计量测试研究所
- 当前专利权人地址： 北京市海淀区知春路82号1001室
- 代理机构： 北京谨诚君睿知识产权代理事务所
- 代理商 延慧; 李红
- 主分类号： G01L9/00
- IPC分类号： G01L9/00 ; G01L21/00
摘要：
本发明涉及一种密封真空电子器件内部压力的测量装置及方法，所述装置包括：取样腔，所述取样腔内设置有样品夹具；标准体积室，与所述取样腔通过管路连接；穿刺机构，设置于所述取样腔上；真空计，与所述取样腔通过管路连接；分子泵组，与所述取样腔通过管路连接；充气装置，与所述取样腔通过管路连接。本发明可有效提高测量密封真空电子器件内部压力的精确度。