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公开(公告)号：CN117490783A
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202311352968.6
申请日：2023-10-18
申请人： 北京东方计量测试研究所
摘要： 本发明涉及一种下限为5×10‑18Pa·m3/s的流量计及其使用方法，所述标准气体流量计包括：分子流导取气模块，包括第一气瓶、第一阀门、第二阀门、第一真空室、第三阀门和第一高真空泵机组、第四阀门、第一标准流导元件、第五阀门、第一真空计和第二真空计；压力取气模块，包括第二气瓶、第八阀门、第七阀门、第六阀门、第三真空室、第九阀门和第二高真空泵机组、第五真空计和第六真空计；分子流导供气模块，包括第二真空室、第十阀门、第二标准流导元件、第十一阀门、第四真空室、第十二阀门、第三高真空泵机组、第十三阀门、第三真空计、第四真空计和第七真空计。本发明设备简单、成本低、操作方便，可将标准气体流量下限延伸至10‑18数量级。
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公开(公告)号：CN115791353A
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202211495203.3
申请日：2022-11-26
申请人： 北京东方计量测试研究所
IPC分类号： G01N1/38
摘要： 本发明涉及一种标准样品动态模拟器，包括：进气口(1)、与所述进气口(1)连接的充气腔(2)、送样腔(4)、与所述送样腔(4)连接的送样出口(5)、真空线性运动机构(9)和标准体积(6)，标样气体均匀地从所述进气口(1)进入所述充气腔(2)并填充所述标准体积(6)，完成标样气体的取样；所述真空线性运动机构(9)驱动所述标准体积(6)向下运动，将所述标准体积(6)中的标样气体排入所述送样腔(4)，经所述送样出口(5)完成标样气体的送样。本发明将标准体积里的标样气体动态引入分析腔管路，确保标准体积内标样气体和上游气源参数的一致性和可知性，能正确进行量值溯源。
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公开(公告)号：CN117967997A
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202410052082.8
申请日：2024-01-12
申请人： 北京东方计量测试研究所
摘要： 本发明涉及检漏工装密封机构，包括：外壳；支撑架，固定设置于所述外壳内；驱动机构，设置于所述支撑架上；密封腔压板，活动设置于所述外壳内且与所述驱动机构连接；检漏工装，设置于所述外壳内且与所述密封腔压板连接，所述检漏工装的一侧具有凹槽，在所述凹槽中设置有柔性密封条；所述驱动机构被配置为受控驱动所述密封腔压板运动，带动所述检漏工装运动，所述外壳上具有供所述检漏工装伸出的通孔，使得所述检漏工装伸出后贴合在被检测件上，且所述柔性密封条紧密接触被检测件。通过驱动机构调节检漏工装，即可实现检漏工装与被测位置之间的连接和分离，并通过柔性密封条进行密封，无需对被测位置进行处理，也无需采用真空封泥，提高检测效率。
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公开(公告)号：CN117419996A
公开(公告)日：2024-01-19
申请号：CN202311355171.1
申请日：2023-10-18
申请人： 北京东方计量测试研究所
摘要： 本发明涉及采用真空条件下流量计配制标准混合气体的装置及方法，所述装置包括：微量气体取样管路，包括第一气瓶、第一阀门、第二阀门、第一真空室、第三阀门、第一高真空泵机组、第一真空计和第二真空计；其他气体取样管路，包括第二气瓶、第十一阀门、第九阀门、第三真空室、第十阀门、第二高真空泵机组、第五真空计和第六真空计；混合气体管路，包括第四阀门、标准流导元件、第五阀门、第六阀门、第二真空室、第七阀门、第八阀门、第十二阀门、第三真空计和第四真空计；第一真空室与第四阀门连接，第三真空室相与第七阀门、第八阀门和第十二阀门连接。本发明设备简单、成本低、操作方便，可将配制标准混合气体的配制比下限延伸至2×10‑10。
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公开(公告)号：CN116398421B
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202310603958.9
申请日：2023-05-26
申请人： 北京东方计量测试研究所
摘要： 本发明涉及一种高真空泵抽速测试装置及其使用方法，高真空泵抽速测试装置包括进气管路、测试管路和对比管路，测试管路包括顺序连接的第三阀门、第一测试罩、待测高真空泵、第一前级泵，第一测试罩还连接有第二真空计；对比管路包括顺序连接的第四阀门、第二测试罩、标准流导元件、流导抽气机组，第二测试罩还连接有第三真空计；第一测试罩通过第一阀门、第二阀门与第二测试罩连接，第一阀门与第二阀门之间连接有第一真空计；第一测试罩与第二测试罩为相同的真空容器。本发明，克服了传统测量抽速等效氮气的不足，提高测试精度，减小测量不确定度，提高测试效率，降低测试成本，避免校准真空计和给出等效氮气抽速的结果。
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公开(公告)号：CN116398421A
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN202310603958.9
申请日：2023-05-26
申请人： 北京东方计量测试研究所
摘要： 本发明涉及一种高真空泵抽速测试装置及其使用方法，高真空泵抽速测试装置包括进气管路、测试管路和对比管路，测试管路包括顺序连接的第三阀门、第一测试罩、待测高真空泵、第一前级泵，第一测试罩还连接有第二真空计；对比管路包括顺序连接的第四阀门、第二测试罩、标准流导元件、流导抽气机组，第二测试罩还连接有第三真空计；第一测试罩通过第一阀门、第二阀门与第二测试罩连接，第一阀门与第二阀门之间连接有第一真空计；第一测试罩与第二测试罩为相同的真空容器。本发明，克服了传统测量抽速等效氮气的不足，提高测试精度，减小测量不确定度，提高测试效率，降低测试成本，避免校准真空计和给出等效氮气抽速的结果。
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公开(公告)号：CN116046245A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202310017768.9
申请日：2023-01-06
申请人： 北京东方计量测试研究所
摘要： 本发明涉及一种密封真空电子器件内部压力的测量装置及方法，所述装置包括：取样腔，所述取样腔内设置有样品夹具；标准体积室，与所述取样腔通过管路连接；穿刺机构，设置于所述取样腔上；真空计，与所述取样腔通过管路连接；分子泵组，与所述取样腔通过管路连接；充气装置，与所述取样腔通过管路连接。本发明可有效提高测量密封真空电子器件内部压力的精确度。
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公开(公告)号：CN116697177A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310818990.9
申请日：2023-07-05
申请人： 北京东方计量测试研究所
摘要： 本发明涉及用于高真空泵抽速测试进气散流机构，包括连接法兰、连接于所述连接法兰一侧的进气管、以及依次连接于所述连接法兰另一侧的平面散流板、第一连接杆、第一锥形散流版、第二连接杆和第二锥形散流版。本发明基于双级锥形散流结构的散流板可以保证气体分子在进入后至少发生两次碰撞，实现良好的平衡态，还具有放气量小的优点，同避免了传统弯管进气引起的束流效应，减小了本底真空的测量不确定度，可以提高测试效率和测试结果的可靠性。
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公开(公告)号：CN112945356B
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202110116702.6
申请日：2021-01-28
申请人： 北京东方计量测试研究所
摘要： 本发明涉及一种气体流量计系统及其使用方法，系统包括主管线(1)、支管线(2)和抽真空管线(3)，所述主管线(1)上从上游至下游依次设有供气模块(4)、第二真空室(5)和流导模块(6)，所述抽真空管线(3)连接在所述第二真空室(5)上，所述主管线(1)上还设有第一真空室(8)，其位于所述供气模块(4)和所述第二真空室(5)之间，所述第一真空室(8)的容积小于所述第二真空室(5)的容积。本发明将直接供气、膨胀衰减压力供气和混合气体供气集成一体，从而满足(10‑5‑10‑16)Pa·m3/s的泄漏漏率、检漏仪及气体流量的校准需求。
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公开(公告)号：CN112945356A
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN202110116702.6
申请日：2021-01-28
申请人： 北京东方计量测试研究所
摘要： 本发明涉及一种气体流量计系统及其使用方法，系统包括主管线(1)、支管线(2)和抽真空管线(3)，所述主管线(1)上从上游至下游依次设有供气模块(4)、第二真空室(5)和流导模块(6)，所述抽真空管线(3)连接在所述第二真空室(5)上，所述主管线(1)上还设有第一真空室(8)，其位于所述供气模块(4)和所述第二真空室(5)之间，所述第一真空室(8)的容积小于所述第二真空室(5)的容积。本发明将直接供气、膨胀衰减压力供气和混合气体供气集成一体，从而满足(10‑5‑10‑16)Pa·m3/s的泄漏漏率、检漏仪及气体流量的校准需求。
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