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公开(公告)号：CN115718133A
公开(公告)日：2023-02-28
申请号：CN202211516431.4
申请日：2022-11-29
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01N27/62
Abstract: 本发明涉及一种测量密封真空管中气体成分的装置及方法，所述装置包括：取样腔，所述取样腔内设有样品夹具；第一分子泵，入气口与所述取样腔连接；第一机械泵，与所述第一分子泵的抽气口连接；第一全量程真空计，与所述取样腔连接；质谱分析腔，与所述取样腔通过流导组件和压电陶瓷阀连接；第二分子泵，入气口与所述质谱分析腔连接；第二机械泵，与所述第二分子泵的抽气口连接；第二全量程真空计，与所述质谱分析腔连接；机械刺穿机构，设置于所述取样腔上；以及四极质谱仪，设置于所述质谱分析腔上。本发明可用于密封真空管中气体成分的检测，具备极高的通用性、便捷性和可控性。
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公开(公告)号：CN109459192B
公开(公告)日：2020-09-22
申请号：CN201811484865.4
申请日：2018-12-06
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01M3/20
Abstract: 本发明涉及一种基于比较法校准正压漏孔的分子流进样系统及控制方法，提出基于动态分子流进样方法和累积分子流进样方法相结合的示漏气体进样系统和方法，在漏孔泄漏的气体累积一段时间后，在一套比较法正压漏孔校准系统上、实现了动态比较和累积比较两种质谱分析方法的分子流进样，突破了比较法校准正压漏孔质谱分析进样的关键技术，并且解决了累积法条件下、正压漏孔校准过程中混合气体分子流进样和微量He气累积测量的技术难题。
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公开(公告)号：CN109443653B
公开(公告)日：2020-09-22
申请号：CN201811431861.X
申请日：2018-11-28
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01M3/20
Abstract: 本发明一种微小漏率正压漏孔校准的气体取样系统及方法，包括分子泵抽气系统、氦气瓶、氮气瓶、气体采样阀门、气体取样室、气体膨胀室、气体累积室、第一第二真空计、第一至第七真空阀门及恒温箱；分子泵抽气系统通过第一真空阀门、且氦气瓶的出气口与第二真空阀门的一端连接，其另一端通过气体取样室与气体采样阀门入口连接且出口通过第四、第三真空阀门与分子泵抽气系统连接，并分别与第二真空计、第五第六第七真空阀门的一端连接；第五真空阀门的另一端与气体膨胀室相连接，且第六真空阀门另一端通过气体累积室与被校正压漏孔连接；第七真空阀门另一端与质谱分析系统连接。本发明缩短了示漏气体累积时间、减小了示漏气体累积和取样精度的影响。
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公开(公告)号：CN109443653A
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201811431861.X
申请日：2018-11-28
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01M3/20
Abstract: 本发明一种微小漏率正压漏孔校准的气体取样系统及方法，包括分子泵抽气系统、氦气瓶、氮气瓶、气体采样阀门、气体取样室、气体膨胀室、气体累积室、第一第二真空计、第一至第七真空阀门及恒温箱；分子泵抽气系统通过第一真空阀门、且氦气瓶的出气口与第二真空阀门的一端连接，其另一端通过气体取样室与气体采样阀门入口连接且出口通过第四、第三真空阀门与分子泵抽气系统连接，并分别与第二真空计、第五第六第七真空阀门的一端连接；第五真空阀门的另一端与气体膨胀室相连接，且第六真空阀门另一端通过气体累积室与被校正压漏孔连接；第七真空阀门另一端与质谱分析系统连接。本发明缩短了示漏气体累积时间、减小了示漏气体累积和取样精度的影响。
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公开(公告)号：CN109269742A
公开(公告)日：2019-01-25
申请号：CN201811438437.8
申请日：2018-11-28
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01M3/28
Abstract: 本发明一种真空密封阀门漏率测试系统及方法，包括第一和第二真空泵组、检漏仪、真空腔室、真空阀门测试罩、压力计、标准漏孔、真空规、气源及第一至第七真空阀门，其中第一真空泵组通过第一真空阀门、检漏仪通过第二真空阀门分别连接真空腔室；真空腔室分别与真空规、第三第五真空阀门的一端连接；所述第五真空阀门的另一端连接标准漏孔；将被测真空阀门安装在真空阀门测试罩内，且被测真空阀门的一端与第三真空阀门另一端连接，及其另一端分别与第四真空阀门、压力计连接；气源通过第六真空阀门、第二真空泵组通第七真空阀门分别与真空阀门测试罩连接。本发明实现了真空阀门局部漏率和全漏率的定量测试，大大提高真空密封阀门漏率测量不确定度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112304804B
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202011169846.X
申请日：2020-10-28
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01N7/14
Abstract: 本发明公开了一种材料放气率测试系统及其测试方法，包含第一真空室、第二真空室、第三真空室、第一小孔元件、第二小孔元件、第一真空计、第二真空计、第三真空计、机械泵、第一分子泵、第二分子泵、第一真空阀门、第二真空阀门、第三真空阀门、第四真空阀门、第五真空阀门、第六真空阀门，第七真空阀门、第八真空阀门、第九真空阀门、第十真空阀门、第十一真空阀门、一个气体流量控制器、一个减压阀门、离子泵、一个标准气瓶和一个恒温箱，一方面减小了两次分别测量过程中由于暴露大气对装置本底放气影响；另一方面可以实现样品和本底同时测量，将原有的测量过程缩短了一半时间，提高了测量效率。
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公开(公告)号：CN117212121B
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311127210.2
申请日：2023-09-04
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及高真空泵抽速测试装置及其使用方法，包括进气管路、与进气管路相连接的测试管路以及与测试管路相连接的校准管路；进气管路包括依次连接的流量系统和第五阀门；测试管路包括依次连接的第三阀门、第一测试罩、待测高真空泵和第一前级泵，第一测试罩上还连接有第二真空计；校准管路包括依次连接的第四阀门、第二测试罩、标准流导元件、抽气机组，第二测试罩上还连接有第三真空计；第一测试罩通过第一阀门、第二阀门与第二测试罩连接，第一阀门与第二阀门之间连接有第一真空计；第一测试罩与第二测试罩为结构和尺寸均不相同的真空容器。本发明可提高测试精度，减小测量不确定度，降低测试成本，避免校准真空计和给出等效氮气抽速的结果。
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公开(公告)号：CN112945356B
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202110116702.6
申请日：2021-01-28
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种气体流量计系统及其使用方法，系统包括主管线(1)、支管线(2)和抽真空管线(3)，所述主管线(1)上从上游至下游依次设有供气模块(4)、第二真空室(5)和流导模块(6)，所述抽真空管线(3)连接在所述第二真空室(5)上，所述主管线(1)上还设有第一真空室(8)，其位于所述供气模块(4)和所述第二真空室(5)之间，所述第一真空室(8)的容积小于所述第二真空室(5)的容积。本发明将直接供气、膨胀衰减压力供气和混合气体供气集成一体，从而满足(10‑5‑10‑16)Pa·m3/s的泄漏漏率、检漏仪及气体流量的校准需求。
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公开(公告)号：CN112945356A
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN202110116702.6
申请日：2021-01-28
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种气体流量计系统及其使用方法，系统包括主管线(1)、支管线(2)和抽真空管线(3)，所述主管线(1)上从上游至下游依次设有供气模块(4)、第二真空室(5)和流导模块(6)，所述抽真空管线(3)连接在所述第二真空室(5)上，所述主管线(1)上还设有第一真空室(8)，其位于所述供气模块(4)和所述第二真空室(5)之间，所述第一真空室(8)的容积小于所述第二真空室(5)的容积。本发明将直接供气、膨胀衰减压力供气和混合气体供气集成一体，从而满足(10‑5‑10‑16)Pa·m3/s的泄漏漏率、检漏仪及气体流量的校准需求。
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公开(公告)号：CN108982021A
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201810772049.7
申请日：2018-07-13
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01M3/20
Abstract: 本发明是一种下限为10-10Pam3/s的正压漏孔校准系统与方法，该系统包括：分子泵抽气系统、一个高纯氦气瓶、一个高纯氮气瓶、一个气体采样阀门(V4)、十个真空阀门(V1，V2，V3，V5，V6，V7，V8，V9，V10，V11)、三个真空室(VC1，VC2，VC3)、三个真空计(G1，G2，G3)、一个四极质谱仪(G4)、一个分子流进样元件(C)、一个吸气剂泵(NEG)、一个被校正压漏孔和一个恒温箱。
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