- 专利标题： 在不影响C形护罩的机械强度或使用寿命的情况下为等离子体均匀性进行C形护罩修改
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申请号： CN202280005850.3申请日： 2022-01-14
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公开(公告)号： CN116114047A公开(公告)日： 2023-05-12
- 发明人: 普拉蒂克·曼克迪 , 金·宰元 , 哈梅特·辛格 , 李明
- 申请人： 朗姆研究公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 朗姆研究公司
- 当前专利权人： 朗姆研究公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 上海胜康律师事务所
- 代理商 李献忠; 张华
- 优先权： 63/149,186 20210212 US
- 国际申请： PCT/US2022/012618 2022.01.14
- 国际公布： WO2022/173557 EN 2022.08.18
- 进入国家日期： 2023-03-01
- 主分类号： H01J37/32
- IPC分类号： H01J37/32
摘要：
一种用于等离子体处理室的约束环包括上部水平区段、竖直区段和下部水平区段。上部水平区段在约束环的上部内半径和外半径之间延伸，下部水平区段在约束环的下部内半径和外半径之间延伸，并且包括延伸到下部内半径的延伸区段。下部水平区段的顶表面提供向下朝向下部内半径的角度。竖直区段设置在约束环的外半径和内侧半径之间。竖直区段将约束环的上部水平区段连接到下部水平区段。
