发明公开
- 专利标题: 基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法、装置
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申请号: CN202211659327.0申请日: 2022-12-22
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公开(公告)号: CN116129427A公开(公告)日: 2023-05-16
- 发明人: 请求不公布姓名
- 申请人: 东方晶源微电子科技(北京)有限公司
- 申请人地址: 北京市大兴区北京经济技术开发区经海四路156号院12号楼
- 专利权人: 东方晶源微电子科技(北京)有限公司
- 当前专利权人: 东方晶源微电子科技(北京)有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市大兴区北京经济技术开发区经海四路156号院12号楼
- 代理机构: 北京汇知杰知识产权代理有限公司
- 代理商 张奎; 杨彦鸿
- 主分类号: G06V20/69
- IPC分类号: G06V20/69 ; G06V30/18 ; G06V30/19 ; G06V30/422
摘要:
本申请提供了一种基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质,该方法包括:在采集到待检测区域的扫描电子显微镜图像的情况下,提取扫描电子显微镜图像的第一扫描电子显微镜图像轮廓;基于扫描电子显微镜图像对第一扫描电子显微镜图像轮廓进行调整,生成第二扫描电子显微镜图像轮廓;将第二扫描电子显微镜图像轮廓与设计版图对准,生成对准结果;基于对准结果对第二扫描电子显微镜图像轮廓进行调整,生成第三扫描电子显微镜图像轮廓;提取第三扫描电子显微镜图像轮廓的轮廓信息。本申请能够有效地提高扫描电子显微镜图像轮廓的精细度。