公开(公告)号：CN115965574A

公开(公告)日：2023-04-14

申请号：CN202211060150.2

申请日：2022-08-31

申请人： 东方晶源微电子科技(北京)有限公司

发明人： 请求不公布姓名

IPC分类号： G06T7/00 ,  G06T7/62 ,  G06T7/70 ,  G06V10/764

摘要： 本申请提供了一种基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷检测方法、装置、设备及计算机可读存储介质。该方法包括：获取待检测位置的第一扫描电子显微镜图像，以及除待检测位置之外的其他位置的第二扫描电子显微镜图像；基于第一扫描电子显微镜图像和第二扫描电子显微镜图像，分别与待检测位置的设计版图进行对准，得到对准结果；基于对准结果，分别将第一扫描电子显微镜图像和第二扫描电子显微镜图像，与待检测位置的设计版图进行比较，得到差异信息；根据差异信息和配方文件，判断第一扫描电子显微镜图像与设计版图之间的第一差异是否为缺陷。根据本申请实施例，提高缺陷检测精度以及扩大缺陷检测的检测范围。

公开(公告)号：CN115829951A

公开(公告)日：2023-03-21

申请号：CN202211453317.1

申请日：2022-11-21

申请人： 东方晶源微电子科技(北京)有限公司

发明人： 请求不公布姓名

IPC分类号： G06T7/00 ,  G01N23/2251 ,  G06V10/764 ,  G06V10/44

摘要： 本申请提供了一种基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷分类方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质，该方法包括：获取扫描电子显微镜图像；基于扫描电子显微镜图像利用缺陷识别方法获取扫描电子显微镜图像的缺陷信息；其中，缺陷信息包括：缺陷位置信息、缺陷周边图形分组信息以及缺陷位置版图上下层连接关系信息中的至少一种；基于缺陷信息对缺陷进行分类。本申请能够有效地提高缺陷分类的准确率。

公开(公告)号：CN116129427A

公开(公告)日：2023-05-16

申请号：CN202211659327.0

申请日：2022-12-22

申请人： 东方晶源微电子科技(北京)有限公司

发明人： 请求不公布姓名

IPC分类号： G06V20/69 ,  G06V30/18 ,  G06V30/19 ,  G06V30/422

摘要： 本申请提供了一种基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质，该方法包括：在采集到待检测区域的扫描电子显微镜图像的情况下，提取扫描电子显微镜图像的第一扫描电子显微镜图像轮廓；基于扫描电子显微镜图像对第一扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成第二扫描电子显微镜图像轮廓；将第二扫描电子显微镜图像轮廓与设计版图对准，生成对准结果；基于对准结果对第二扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成第三扫描电子显微镜图像轮廓；提取第三扫描电子显微镜图像轮廓的轮廓信息。本申请能够有效地提高扫描电子显微镜图像轮廓的精细度。

公开(公告)号：CN116108213A

公开(公告)日：2023-05-12

申请号：CN202211733994.9

申请日：2022-12-21

申请人： 东方晶源微电子科技(北京)有限公司

发明人： 请求不公布姓名

IPC分类号： G06F16/51 ,  G06T7/00 ,  G06T7/73

摘要： 本申请提供了一种缺陷图形数据库的建立方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质。该缺陷图形数据库的建立方法，包括：获取芯片生产过程中在有图形硅片上的缺陷检测结果；在将缺陷检测结果对应的缺陷图像与预设的设计版图进行对准后，确定缺陷图像中缺陷位置在设计版图上对应的缺陷位置；基于设计版图上的缺陷位置，生成基于设计版图的缺陷检测报告；其中，缺陷检测报告包括以设计版图上的缺陷位置为中心，预设范围内的缺陷图形；对缺陷图形进行图形分组，得到图形分组结果；基于图形分组结果，建立缺陷图形数据库。根据本申请实施例，能够保证所建立的缺陷图形数据库的高覆盖度和全信息度。

公开(公告)号：CN115757394A

公开(公告)日：2023-03-07

申请号：CN202211294748.8

申请日：2022-10-21

申请人： 东方晶源微电子科技(北京)有限公司

发明人： 请求不公布姓名

IPC分类号： G06F16/22 ,  G06F30/392 ,  H01L21/66

摘要： 本申请提供了一种基于设计版图的量测数据库构建方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质。该基于设计版图的量测数据库构建方法，包括：在设计版图上选取需要量测的实际图形；获取实际图形在硅片实际位置的扫描电子显微镜SEM图像；获取SEM图像所有的量测数据；保存量测数据，得到量测数据库。根据本申请实施例，其构建的量测数据库能够保存大量在芯片实际图形上取得的量测数据和量测数据周边的图形环境。

公开(公告)号：CN115690064A

公开(公告)日：2023-02-03

申请号：CN202211397566.3

申请日：2022-11-09

申请人： 东方晶源微电子科技(北京)有限公司

发明人： 请求不公布姓名

IPC分类号： G06T7/00 ,  G06T7/13 ,  G06T7/62 ,  G06V10/74

摘要： 本申请提供了一种对准方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质。该对准方法，包括：采集待检测区域的扫描电子显微镜图像；提取扫描电子显微镜图像的扫描电子显微镜图像轮廓；将扫描电子显微镜图像轮廓转化为与设计版图格式相同的扫描电子显微镜图像轮廓；将转化后的扫描电子显微镜图像轮廓与预设的原始设计版图进行对准，得到对准结果。根据本申请实施例，能够提高对准精度。