一种石英晶体振荡器镀膜厚度检测方法
摘要:
本发明公开了一种石英晶体振荡器镀膜厚度检测方法,包括通过石英晶体振荡器获取镀膜的膜层与石英晶体的声阻抗比值Rz;根据Rz<1推导出公式一以及根据Rz≥1推导出公式二;通过公式一或公式二确定不同待检测的镀膜的厚度。该石英晶体振荡器镀膜厚度检测方法中的公式一是现当镀膜膜层厚度较大时,频率与厚度的线性关系不再满足,呈非线性关系进行的改进,是针对Rz
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