本发明提供了一种靶材的修复方法，包括如下步骤：在待修复靶材的修复区的沟槽内浇铸与靶材成分相同的合金熔体，得到一次修复靶材；对所述一次修复靶材的修复区进行摩擦处理，得到摩擦处理的靶材；对所述摩擦处理的靶材进行去应力退火处理，得到修复的靶材。本发明采用浇铸法，利用与待修复靶材成分相同的合金熔体进行修复，能够保证修复区与原靶材的界面为焊接态的冶金结合，不会出现脱层等现象，能够实现废弃靶材的反复使用，大幅度提高了靶材的利用率；为了消除浇铸修复区的缺陷，细化其晶粒，对修复区进行摩擦处理，并随后进行去应力退火，有效解决了靶材修复区晶粒粗大的问题，保证了溅射靶材的均匀性。