本发明公开了一种石墨舟干法清洗装置，包括真空腔以及设于真空腔内的第一电极板和第二电极板，第一电极板和第二电极板之间形成用于放置石墨舟的放置空间，第一电极板和第二电极板用于在通电状态下电离两者之间的工艺气体，真空腔上设有进气口和出气口。本发明双电极板的设置方式可通过调节两个电极板的电压、电流和功率大小，最大限度地电离工艺气体，增强等离子体指向轰击石墨舟表面的能量及频次，有效提高刻蚀气体利用率和石墨舟的刻蚀清洗速率，进而缩短清洗时间，克服两个电极板之间的间距或真空腔体大小造成的局限，并且双电极板的设置使放电更均匀，覆盖面广，清洗均匀性更好。