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公开(公告)号：CN116765047A
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202310595262.6
申请日：2023-05-24
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种石墨舟干法清洗装置，包括真空腔以及设于真空腔内的第一电极板和第二电极板，第一电极板和第二电极板之间形成用于放置石墨舟的放置空间，第一电极板和第二电极板用于在通电状态下电离两者之间的工艺气体，真空腔上设有进气口和出气口。本发明双电极板的设置方式可通过调节两个电极板的电压、电流和功率大小，最大限度地电离工艺气体，增强等离子体指向轰击石墨舟表面的能量及频次，有效提高刻蚀气体利用率和石墨舟的刻蚀清洗速率，进而缩短清洗时间，克服两个电极板之间的间距或真空腔体大小造成的局限，并且双电极板的设置使放电更均匀，覆盖面广，清洗均匀性更好。
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公开(公告)号：CN117259339A
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202311180050.8
申请日：2023-09-12
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种石墨舟刻蚀设备，包括：反应腔体、盖板、推舟机构、缓冲机构和偏压机构；推舟机构密封穿设在盖板上，推舟机构用于搭载石墨舟进出反应腔体，并搭载石墨舟在反应腔体内进行刻蚀清洗；推舟机构端部设有偏压机构，偏压机构用于施加偏压到石墨舟上；缓冲机构设置在盖板上，用于提供盖板与反应腔体接触后的缓冲。本发明中，搭载了石墨舟的推舟机构上施加有偏置电压，推舟机构推送石墨舟至反应腔体内部之后无需退出即可进行工艺，减少了推舟机构取放石墨舟的上升和下降动作，节约了设备节拍时间，提升了设备产能。同时能够有效压缩反应腔体的高度尺寸，降低了反应腔体的内空体积，进而减少了工艺时反应气体的用量，节约了设备运行成本。
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公开(公告)号：CN116180048A
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202111435618.7
申请日：2021-11-29
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/458 , G06T17/00 , B33Y10/00 , B33Y30/00
摘要： 本发明公开了一种用于原子层沉积高保形度三维图形的反应室系统，包括反应室腔体和反应室腔盖，反应室腔盖中设有用于输送两种以上前驱气体且各种前驱气体喷出前互不串通的均压腔，反应室腔盖的底面设有分别与不同均压腔单独连通的至少两组喷淋孔，与不同均压腔连通的不同喷淋孔在反应室腔盖的底面上相间布置且呈圆周排列，反应室腔体内设有可旋转工件台，在使用时，与反应室腔盖的底面平行设置。本发明用于原子层沉积高保形度三维图形的反应室系统，具有前驱气体利用率高、操作方便、成本低廉、喷淋均匀性好、沉积过程易于控制、沉积效率高、沉膜均匀性好等优点，可制备得到高保形度三维图形，适合性强，便于工业化利用，使用价值高，应用前景好。
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公开(公告)号：CN114351114A
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202111678753.4
申请日：2021-12-31
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： C23C16/44 , C23C16/458 , C23C16/46
摘要： 本发明公开了高效太阳能电池用大产能炉管式ICP‑CVD装置，包括反应腔体、载板、电感线圈和加热炉管，多个载板在反应腔体内平行布置，两两之间相隔一定距离，载板两面均可装载工件；电感线圈套在反应腔体外部，与腔体同轴并与腔体之间有一定间隙；加热炉管套在电感线圈外，与电感线圈及反应腔体同轴。本发明电感线圈内通入高频电源，激发反应腔内气体形成等离子体。等离子体放电与载板形状、位置等因素无关，载板结构和布局不再受限制，可采用多个载板叠加，两个载板的间距可以做的很小。反应腔体及加热炉管可上下多层布局，向空中发展，使整个设备占地面积小，单位占地面积内的产能大；电感线圈位于反应腔体外不会出现电极引入处放电问题。
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公开(公告)号：CN116419463A
公开(公告)日：2023-07-11
申请号：CN202111650642.2
申请日：2021-12-29
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： H05H1/46
摘要： 本发明公开了一种等离子体发生装置，包括：微波发生器、水冷法兰、等离子体反应腔和冷却水套，等离子体反应腔两端分别通过水冷法兰与微波发生器连接，水冷法兰用于对微波发生器上的微波能量输出口进行冷却降温；等离子体反应腔内设有铜天线，微波发生器通过铜天线将同轴微波传导进入等离子体反应腔内；等离子体反应腔上开设有多个进气孔和等离子输出孔，进气孔用于向等离子体反应腔内输入待电离的工艺气体，等离子输出孔用于将等离子体反应腔内电离完成的工艺气体导入工艺腔中；冷却水套安装在等离子体反应腔外围，以实现等离子体反应腔冷却降温。本发明具有结构紧凑、操作简单、所产生的等离子密度高等优点，适用于大面积的平板式薄膜沉积设备。
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公开(公告)号：CN216972673U
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202123448547.2
申请日：2021-12-31
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： C23C16/44 , C23C16/509 , C23C16/52
摘要： 本实用新型公开了用于CVD设备的大面积重载荷平板式加热器升降系统，包括平板式加热器、机架、腔体、承托面板、升降机构和多个密封支撑机构，腔体设于机架的顶部，升降机构设于机架上，密封支撑机构包括升降立柱和压缩波纹管，各升降立柱下端与升降机构的驱动端连接，升降立柱上端伸入腔体内，承托面板设于升降立柱的上端，平板式加热器位于承托面板上，压缩波纹管套在升降立柱外，其上端与腔体连接、下端与升降立柱或升降机构的驱动端连接。本实用新型承托面板为多点支撑、受力均匀解决了大面积重载荷平板式加热器在真空环境下的平行、平稳升降问题以及采用压缩波纹管实现升降立柱与腔体的密封，解决了平板式加热器的升降位置的真空密封问题。
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公开(公告)号：CN216397396U
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202121769605.9
申请日：2021-07-30
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： B08B7/00 , H01L31/18 , H01L21/673
摘要： 本实用新型公开了一种光伏电池用硅片载具清洗设备，包括工作台、移动模组、和清洗机构，移动模组设于工作台上，清洗机构设于移动模组上，清洗机构包括激光发生器、光学整形镜组、聚焦透镜和扫描振镜，激光发生器通过光纤与光学整形镜组连接，光学整形镜组用于将激光发生器生成的激光整形成平行光束，聚焦透镜用于对整形后的激光进行聚焦，扫描振镜用于接收聚焦后的点光束，并带动点光束移动。本实用新型采用激光清洗方式实现板框的沉积薄膜去除，清洗效率高，不会对环境造成污染。
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公开(公告)号：CN217173860U
公开(公告)日：2022-08-12
申请号：CN202123325352.9
申请日：2021-12-27
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： C23C16/455
摘要： 本实用新型公开了一种ALD设备用分腔进气装置，包括第一进气组件、第二进气组件及喷淋组件，所述喷淋组件内设有相互独立的第一腔室和第二腔室，所述第一进气组件与第一腔室连通，所述第一腔室设有用于向反应室喷气的第一喷淋管，所述第二进气组件与第二腔室连通，所述第二腔室设有用于向反应室喷气的第一喷淋孔。本实用新型具有分腔进气、不会堵塞喷淋通道、沉积效果好的优点。
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公开(公告)号：CN220092384U
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202321276769.7
申请日：2023-05-24
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种石墨舟干法清洗装置，包括真空腔以及设于真空腔内的第一电极板和第二电极板，第一电极板和第二电极板之间形成用于放置石墨舟的放置空间，第一电极板和第二电极板用于在通电状态下电离两者之间的工艺气体，真空腔上设有进气口和出气口。本实用新型双电极板的设置方式可通过调节两个电极板的电压、电流和功率大小，最大限度地电离工艺气体，增强等离子体指向轰击石墨舟表面的能量及频次，有效提高刻蚀气体利用率和石墨舟的刻蚀清洗速率，进而缩短清洗时间，克服两个电极板之间的间距或真空腔体大小造成的局限，并且双电极板的设置使放电更均匀，覆盖面广，清洗均匀性更好。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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