发明公开
- 专利标题： 一种室温下工作的中长波红外探测器及其制备方法
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申请号： CN202310818983.9申请日： 2023-07-05
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公开(公告)号： CN116779711A公开(公告)日： 2023-09-19
- 发明人: 王东博 , 刘思航 , 方铉 , 曹伽牧 , 刘东昊 , 王金忠 , 曲平
- 申请人： 哈尔滨工业大学
- 申请人地址： 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- 专利权人： 哈尔滨工业大学
- 当前专利权人： 哈尔滨工业大学
- 当前专利权人地址： 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- 代理机构： 哈尔滨龙科专利代理有限公司
- 代理商 李智慧
- 主分类号： H01L31/109
- IPC分类号： H01L31/109 ; H01L31/18 ; H01L31/0328
摘要：
本发明公开了一种室温下工作的中长波红外探测器及其制备方法，所述探测器包括衬底、Bi2Te3纳米材料层和铬金电极，衬底上旋涂Bi2Te3纳米材料层，铬金电极设置在Bi2Te3纳米材料层上。制备步骤如下：步骤一、利用溶剂热技术生长Bi2Te3六角形纳米材料；步骤二、在生长的Bi2Te3六角形纳米材料旋涂于衬底上；步骤三、利用磁控溅射技术在Bi2Te3层表面沉积铬金电极。本发明制备了室温中长波红外探测器，长波红外探测器的响应峰10μm以上，实现了室温中长波红外探测材料结构。