- 专利标题: 基于Ga2O3-少层MXenes异质结的日盲紫外光电探测器及其制备方法
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申请号: CN202310878682.5申请日: 2023-07-17
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公开(公告)号: CN116779725A公开(公告)日: 2023-09-19
- 发明人: 陆文强 , 朱希
- 申请人: 中国科学院重庆绿色智能技术研究院
- 申请人地址: 重庆市北碚区方正大道266号
- 专利权人: 中国科学院重庆绿色智能技术研究院
- 当前专利权人: 中国科学院重庆绿色智能技术研究院
- 当前专利权人地址: 重庆市北碚区方正大道266号
- 代理机构: 北京申翔知识产权代理有限公司
- 代理商 杨博
- 主分类号: H01L31/18
- IPC分类号: H01L31/18 ; H01L31/0352 ; H01L31/032 ; H01L31/109
摘要:
本发明提供了一种基于Ga2O3‑少层MXenes异质结的日盲紫外光电探测器及其制备方法,制备方法包括:制备多层MXenes材料;对制备的多层MXenes材料进行插层处理后,得到插层MXenes材料;对制备的插层MXenes材料进行超声处理后,离心、取上层清液,获得少层MXenes悬浮液;在衬底上生长Ga2O3纳米线;将少层MXenes悬浮液滴在Ga2O3纳米线的表面,并在惰性气体氛围下,经退火处理,获得Ga2O3‑少层MXenes异质结极片;在Ga2O3‑MXenes少层异质结极片上加工电极,以形成基于Ga2O3‑少层MXenes异质结的日盲紫外光电探测器。本发明利用少层MXenes材料的高导电性和大的异质结接触面积,提高日盲紫外光电探测器的性能。
IPC分类: