发明公开
- 专利标题: 一种双面散热结构功率模块的制造方法
-
申请号: CN202311054991.7申请日: 2023-08-22
-
公开(公告)号: CN116798882A公开(公告)日: 2023-09-22
- 发明人: 王郑涛 , 王华涛 , 姚海 , 莫豪 , 吕璐颖 , 蒲萌
- 申请人: 哈尔滨工业大学(威海)
- 申请人地址: 山东省威海市环翠区文化西路2号
- 专利权人: 哈尔滨工业大学(威海)
- 当前专利权人: 哈尔滨工业大学(威海)
- 当前专利权人地址: 山东省威海市环翠区文化西路2号
- 代理机构: 北京华专卓海知识产权代理事务所
- 代理商 王一
- 主分类号: H01L21/52
- IPC分类号: H01L21/52 ; H01L21/54 ; H01L23/367 ; H01L23/373
摘要:
本发明公开了一种双面散热结构功率模块的制造方法,采用钎焊焊接芯片和陶瓷基板,而后利用键合机进行芯片和覆铜陶瓷基板的电气互联键合,安装塑料外壳并二次键合完成覆铜陶瓷基板与端子的固连;高导热复合材料以导热填料、树脂基体和添加剂为原料按比例混合,形成无自主流动性的粉状物质,将其填入功率模块腔体中,并装上有凸起结构的上冷板,放入真空腔并盖上顶盖,抽真空的同时向下额外施压使填料相互挤压变形填隙,最终填满整个腔体,打开气阀恢复正常压力后撤去外部装置并加热固化即可完成。本发明提供的方法可以制备具有双面散热功能的功率模块,具有工艺简单、成本较低、良品率高、可靠性高的特点。
公开/授权文献
- CN116798882B 一种双面散热结构功率模块的制造方法 公开/授权日:2024-01-30
IPC分类: