一种双栅极场效应晶体管及其制备方法
摘要:
本发明属于微电子器件技术领域,公开了一种双栅极场效应晶体管及其制备方法。本发明的场效应晶体管包括:衬底自下而上依次设置基底层和第一氧化物层;底部栅极自下而上依次设置第一金属层、第一氧化铪基负电容层及第二氧化物层;半导体层包含源极、沟道、漏极;顶部栅极自下而上依次设置第三氧化物层、第二氧化铪基负电容层及第二金属层。本发明利用两个栅极负电容层的共同作用,实现更强的栅控能力,大幅稳定场效应晶体管的负电容效应,获得更稳定的超低亚阈值摆幅,大幅降低器件工作电压,有望满足先进微电子器件的发展需求。
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