发明公开
- 专利标题: 一种双栅极场效应晶体管及其制备方法
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申请号: CN202311150541.8申请日: 2023-09-07
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公开(公告)号: CN117012813A公开(公告)日: 2023-11-07
- 发明人: 周益春 , 杨志斌 , 曾斌建 , 廖敏
- 申请人: 湘潭大学
- 申请人地址: 湖南省湘潭市雨湖区湘潭大学
- 专利权人: 湘潭大学
- 当前专利权人: 湘潭大学
- 当前专利权人地址: 湖南省湘潭市雨湖区湘潭大学
- 代理机构: 北京睿智保诚专利代理事务所
- 代理商 韩凤颖
- 主分类号: H01L29/423
- IPC分类号: H01L29/423 ; H01L29/51 ; H01L29/78 ; H01L21/336
摘要:
本发明属于微电子器件技术领域,公开了一种双栅极场效应晶体管及其制备方法。本发明的场效应晶体管包括:衬底自下而上依次设置基底层和第一氧化物层;底部栅极自下而上依次设置第一金属层、第一氧化铪基负电容层及第二氧化物层;半导体层包含源极、沟道、漏极;顶部栅极自下而上依次设置第三氧化物层、第二氧化铪基负电容层及第二金属层。本发明利用两个栅极负电容层的共同作用,实现更强的栅控能力,大幅稳定场效应晶体管的负电容效应,获得更稳定的超低亚阈值摆幅,大幅降低器件工作电压,有望满足先进微电子器件的发展需求。
公开/授权文献
- CN117012813B 一种双栅极场效应晶体管及其制备方法 公开/授权日:2024-09-17
IPC分类: