本申请涉及晶圆传输技术领域，尤其是涉及一种晶圆传递用SCARA机械手，包括支撑主体；伸臂组件包括转动连接的大臂组件和小臂组件；升降组件具有能够沿竖直方向往复运动的第一输出部；旋转组件，第一输出部连接，具有与大臂组件转动连接的第二输出部；大臂组件包括设置在伸臂传动组件和伸臂输入轴之间的承载件；紧固组件包括设置在紧固螺钉和紧固螺纹孔之间的弹性件，用于连接伸臂传动组件的输入端和第二输出部。本申请通过设置承载件来提升大臂组件运动过程中的刚性，保证伸臂组件在运动过程中的水平度，从而提升伸臂组件的运动平稳性和运动精度。此外，还通过增设弹性件来提升紧固组件的预紧力，从而进一步提升机械手整体刚性。