本发明公开了一种基于压电堆叠的电磁辅助式高速惯性微动台及驱动方法，其包括承载座、电磁驱动组件、压电驱动组件和底座组件；电磁驱动组件包括线圈单元和磁铁单元，压电驱动组件内设置有柔性机构，柔性机构内部具有空腔并安装有压电堆叠；压电堆叠激励时柔性机构能产生变形并带动惯性块产生水平方向的位移。线圈单元质量较轻，本发明将其做为动子以提高整机的加速度及驱动速度。利用压电驱动组件不受电磁干扰的特性，一方面通过电磁力诱导辅助抑制压电惯性驱动器的位移回退运动，另一方面通过电磁与压电两种驱动源复合提升整机综合输出性能，既有效提升其推力负载、提升驱动速度、抑制位移回退、及震荡的同时，又能保证其具备高精度定位。