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公开(公告)号：CN117060775A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202310997091.X
申请日：2023-08-09
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明公开了一种电磁辅助式压电片型精密惯性执行器及驱动方法，在将基于音圈电机驱动原理的电磁驱动组件与基于压电惯性驱动原理的压电驱动组件进行复合设计。其中，电磁驱动组件中磁铁单元做动子，以避免电磁驱动组件引线对平台定位精度的影响，压电驱动组件选用压电片进行驱动，具备成本低的优势。利用压电驱动器不受电磁干扰的特性，一方面通过电磁力辅助抑制压电惯性驱动器的位移回退运动，另一方面通过电磁与压电两种驱动源复合提升整机综合输出性能，既有效提升其推力负载、提升驱动速度、抑制位移回退、及震荡的同时，又能保证其具备高精度定位。
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公开(公告)号：CN117081424A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202310998322.9
申请日：2023-08-09
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明提供了一种超大负载堆叠型摩擦式压电磁力混动微纳台及驱动方法，其包括电磁驱动单元、基座单元和压电驱动单元，所述压电驱动单元包括连接板、预压簧片、柔性机构、压电堆叠以及摩擦棒。本发明通过电磁驱动单元与压电驱动单元的输入电信号控制，可以实现快速驱动以及精密定位两种工作模式。执行快速驱动模式时，控制电信号使滑块受到的合力始终大于0，电磁驱动单元施加较大的直流电压使得滑块获得力较大的合力；执行精密定位模式时，控制电磁驱动单元电信号使其在压电驱动单元电压快速升高时滑块受到的合力为0，以抑制此阶段压电驱动单元独立位移时产生的位移回退，对压电驱动通入周期性锯齿波实现微进给。
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公开(公告)号：CN117060777A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202310998321.4
申请日：2023-08-09
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明公开了一种基于压电堆叠的电磁辅助式高速惯性微动台及驱动方法，其包括承载座、电磁驱动组件、压电驱动组件和底座组件；电磁驱动组件包括线圈单元和磁铁单元，压电驱动组件内设置有柔性机构，柔性机构内部具有空腔并安装有压电堆叠；压电堆叠激励时柔性机构能产生变形并带动惯性块产生水平方向的位移。线圈单元质量较轻，本发明将其做为动子以提高整机的加速度及驱动速度。利用压电驱动组件不受电磁干扰的特性，一方面通过电磁力诱导辅助抑制压电惯性驱动器的位移回退运动，另一方面通过电磁与压电两种驱动源复合提升整机综合输出性能，既有效提升其推力负载、提升驱动速度、抑制位移回退、及震荡的同时，又能保证其具备高精度定位。
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公开(公告)号：CN117060770A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202310997085.4
申请日：2023-08-09
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明公开了一种二自由度重力辅助式压电惯性平顺位移台及驱动方法；本发明的压电惯性平顺位移台利用重力辅助通过单个激励源实现了压电角位移微动平台在单一自由度的双向平顺驱动；利用压电堆叠和柔性铰链机构的接触装配特性使单个方向实现位移激增运动，之后通过重力辅助单元的自重结合电压偏置使定子组件产生寄生运动，进而实现摩擦半球头与运动导轨之间的锁定力调节来平衡正向位移激增和反向位移回退，实现双向平顺驱动。
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公开(公告)号：CN117170080A
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202310997088.8
申请日：2023-08-09
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明公开了一种Z自由度压电惯性双向平顺精密调焦平台及驱动方法；利用压电堆叠和柔性铰链机构的接触装配特性使单个方向实现位移激增运动，之后通过光学电子显微镜及运动导轨自重结合电压偏置使定子组件产生寄生运动，进而实现定子组件与运动导轨之间的锁定力调节来平衡正向位移激增和反向位移回退，实现双向平顺驱动。针对传统压电惯性驱动平台的位移回退问题，将压电堆叠与柔性铰链机构采用接触装配，锯齿波采用100％占空比锯齿波，运动导轨与光学电子显微镜采用Z自由度安装，有效利用驱动目标自重，压电堆叠电压偏置实现定子组件与运动导轨之间锁定力调节，进而使精密调焦平台获得双向平顺驱动并改善其双向一致性。
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公开(公告)号：CN117060776A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202310998319.7
申请日：2023-08-09
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明公开了一种磁力诱导式堆叠型压电惯性复合定位台及驱动方法，其包括载物台、电磁驱动组件、压电驱动单元和底座单元；电磁驱动组件包括线圈单元和磁铁单元，压电驱动组件内设置有柔性机构，柔性机构内部安装有压电堆叠；压电堆叠激励时柔性机构能产生变形并带动惯性块产生水平方向的位移。本发明磁铁单元做动子，以避免电磁驱动单元引线对平台定位精度的影响。一方面通过电磁力诱导辅助抑制压电驱动单元的位移回退运动，另一方面通过电磁与压电两种驱动源复合提升整机综合输出性能，既有效提升其推力负载、提升驱动速度、抑制位移回退、及震荡的同时，又能保证其具备高精度定位。
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公开(公告)号：CN117060774A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202310997087.3
申请日：2023-08-09
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明提供了一种蝶型电磁辅助式精密压电惯性执行器及驱动方法，在将基于音圈电机驱动原理的电磁驱动组件与基于压电惯性驱动原理的压电驱动组件进行复合设计。其中，电磁驱动组件中线圈单元做动子，以提升响应速度和驱动加速度，压电驱动组件选用压电片进行驱动，具备成本低的优势。利用压电驱动器不受电磁干扰的特性，一方面通过电磁力辅助抑制压电惯性驱动器的位移回退运动，另一方面通过电磁与压电两种驱动源复合提升整机综合输出性能，既有效提升其推力负载、提升驱动速度、抑制位移回退、及震荡的同时，又能保证其具备高精度定位。
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公开(公告)号：CN117060773A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202310997082.0
申请日：2023-08-09
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明公开了一种重力辅助式压电惯性角位移平顺微动平台及驱动方法；本发明将压电堆叠与柔性铰链机构采用接触装配，锯齿波采用100％占空比锯齿波，将重力辅助单元通过软绳与载物台连接，利用重力辅助单元的自重，另外，再通过压电堆叠电压偏置实现摩擦半球头与运动导轨之间锁定力调节，进而使精密调焦平台获得双向平顺驱动并改善其双向一致性。本发明不仅能够实现压电惯性角位移微动平台的平顺驱动，还可以改善其正反方向输出性能的一致性。
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