外延片光致发光测试装置及其工作方法
摘要:
本发明提供一种外延片光致发光测试装置及其工作方法,其中外延片光致发光测试装置包括:发光结构;旋转支撑座;承载平台,位于旋转支撑座上,承载平台的承载面与旋转支撑座所在的平面垂直,承载平台中具有贯穿承载平台的固定轴,固定轴与旋转支撑座固定连接;载物托盘,位于承载平台的承载面上,载物托盘适于承载外延片,外延片背离承载平台的一侧表面接收发光结构发射出的光;光谱分析仪,光谱分析仪对外延片侧面发出的光进行信息采集与信息输出。所述外延片光致发光测试装置结构简单且测试精确。
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