发明授权
- 专利标题: 外延片光致发光测试装置及其工作方法
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申请号: CN202311316823.0申请日: 2023-10-12
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公开(公告)号: CN117169173B公开(公告)日: 2024-02-23
- 发明人: 王俊 , 张志成 , 肖垚 , 唐英翔 , 李龙基 , 刘恒 , 苗霈 , 程洋 , 谭少阳 , 周立 , 李泉灵 , 廖新胜 , 闵大勇
- 申请人: 苏州长光华芯光电技术股份有限公司 , 苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市高新区漓江路56号
- 专利权人: 苏州长光华芯光电技术股份有限公司,苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司
- 当前专利权人: 苏州长光华芯光电技术股份有限公司,苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市高新区漓江路56号
- 代理机构: 北京三聚阳光知识产权代理有限公司
- 代理商 刘贺秋
- 主分类号: G01N21/63
- IPC分类号: G01N21/63 ; G01N21/25
摘要:
本发明提供一种外延片光致发光测试装置及其工作方法,其中外延片光致发光测试装置包括:发光结构;旋转支撑座;承载平台,位于旋转支撑座上,承载平台的承载面与旋转支撑座所在的平面垂直,承载平台中具有贯穿承载平台的固定轴,固定轴与旋转支撑座固定连接;载物托盘,位于承载平台的承载面上,载物托盘适于承载外延片,外延片背离承载平台的一侧表面接收发光结构发射出的光;光谱分析仪,光谱分析仪对外延片侧面发出的光进行信息采集与信息输出。所述外延片光致发光测试装置结构简单且测试精确。
公开/授权文献
- CN117169173A 外延片光致发光测试装置及其工作方法 公开/授权日:2023-12-05