半导体发光结构及其制备方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118867837A

    公开(公告)日:2024-10-29

    申请号:CN202411328037.7

    申请日:2024-09-24

    IPC分类号: H01S5/11 H01S5/183

    摘要: 本发明提供一种半导体发光结构及其制备方法,半导体发光结构包括:位于有源层背离半导体衬底层一侧的光子晶体层,光子晶体层包括第一层和第二层,第二层延伸至第一层中并覆盖第一层背离有源层的一侧表面,第二层的折射率高于第一层的折射率;位于光子晶体层背离有源层一侧的布拉格反射镜,布拉格反射镜包括交替层叠的第三层和第四层,第三层的折射率高于第四层的折射率;位于布拉格反射镜和光子晶体层之间的过渡层,过渡层与第三层接触,过渡层中的Al组分大于第二层中的Al组分且小于第三层中的Al组分,且过渡层中的Al组分自布拉格反射镜朝向光子晶体层的方向递减。半导体发光结构的出光效率提高。

    一种半导体器件及其制备方法

    公开(公告)号:CN112542770B

    公开(公告)日:2021-10-15

    申请号:CN202011410736.8

    申请日:2020-12-04

    IPC分类号: H01S5/343 H01S5/34

    摘要: 本发明提供一种半导体器件及其制备方法,其中,半导体器件包括:非掺杂GaInP有源层;P型GaAlInP半导体层,所述P型GaAlInP半导体层中掺杂有Zn离子;位于所述P型GaAlInP半导体层和所述非掺杂GaInP有源层之间的第一扩散截止层,所述第一扩散截止层的材料为(Ga1‑x1Alx1)1‑y1Iny1As1‑z1Pz1。第一扩散截止层可以阻挡Zn离子从P型GaAlInP半导体层往非掺杂GaInP有源层扩散,第一扩散截止层中的Al可调节扩散截止层的禁带宽度,降低第一扩散截止层前后层之间的能级差,进而可以提升半导体器件的性能。

    接触层的制作方法、半导体激光器及其制作方法

    公开(公告)号:CN111682400B

    公开(公告)日:2021-07-20

    申请号:CN202010574296.3

    申请日:2020-06-22

    IPC分类号: H01S5/042 H01S5/028

    摘要: 本发明提供一种接触层的制作方法、半导体激光器及其制作方法,接触层的制作方法为先在所述半导体激光器的外延层上形成非掺杂半导体层,再对所述非掺杂半导体层进行掺杂。采用此制作方法制作的接触层包括掺杂区域和非掺杂区域,非掺杂区域电流无法注入,只有掺杂区域能够注入电流,并且掺杂区域内能够注入电流面积沿腔长方向逐渐增大,以抵消谐振腔内的光子密度分布不均导致的载流子密度和增益沿增反膜到减反膜方向不均匀分布的影响,使载流子在腔长方向均匀分布,提高半导体激光器的输出功率和性能稳定性。半导体激光器的电极直接在接触层上制作,电极与接触层之间无介质薄膜,电极与接触层粘附牢固、不易脱落。

    限制层结构及其制作方法、半导体激光器及其制作方法

    公开(公告)号:CN111682403B

    公开(公告)日:2021-04-20

    申请号:CN202010574282.1

    申请日:2020-06-22

    IPC分类号: H01S5/20 H01S5/22

    摘要: 本发明提供一种限制层结构及其制作方法、半导体激光器及其制作方法,限制层结构包括间隔分布的若干介质掩膜块以及在所述若干介质掩膜块之间间隙生成的限制层,其中,所述限制层采用砷化镓层替换现有的砷化铝镓层,从而形成一种介质掩膜块和砷化镓限制层混合的限制层。由于砷化镓的折射率大于砷化铝镓,而介质掩膜块的折射率小于砷化铝镓,形成的混合限制层的折射率可以与现有的砷化铝镓(Al组分40‑90%)相当,能够保证其光学限制效果。形成的混合限制层的导电性优于砷化铝镓(Al组分40‑90%)的导电性。混合限制层导电性提高、氧杂质含量减少,最终将降低半导体激光器的阈值电流、提高其斜率效率和COMD阈值,提升半导体激光器性能。