发明公开
- 专利标题: 一种电压非对称双向TVS器件及其制造方法
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申请号: CN202311447479.9申请日: 2023-11-02
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公开(公告)号: CN117174761A公开(公告)日: 2023-12-05
- 发明人: 邹有彪 , 李盛楠 , 倪侠 , 徐玉豹 , 王全 , 张荣
- 申请人: 富芯微电子有限公司
- 申请人地址: 安徽省合肥市高新区柏堰科技园香蒲路503号
- 专利权人: 富芯微电子有限公司
- 当前专利权人: 富芯微电子有限公司
- 当前专利权人地址: 安徽省合肥市高新区柏堰科技园香蒲路503号
- 代理机构: 合肥正则元起专利代理事务所
- 代理商 张飞
- 主分类号: H01L29/861
- IPC分类号: H01L29/861 ; H01L29/06 ; H01L21/329
摘要:
本发明公开了一种电压非对称双向TVS器件及其制造方法,包括N型半导体衬底,N型半导体衬底的上侧设置有N型外延层,N型外延层和N型半导体衬底均设置有第一钝化层,N型外延层的内部设置有P型注入区,P型注入区的两侧均设置有P型掺杂区,P型注入区的上侧且位于N型外延层的内部处设置有N型掺杂区,本器件通过N型半导体衬底、P型注入区、N型掺杂区等的设置,成功实现了一个TVS器件即可对两个不同耐压等级的线路进行保护,极大提高了本器件的使用效率,同时,由于本发明采用了N型半导体衬底和N型外延层,大大降低了本器件制造的工艺难度及成本,且制造方法凝练、易操作,具有很大的应用前景。
公开/授权文献
- CN117174761B 一种电压非对称双向TVS器件及其制造方法 公开/授权日:2024-01-05
IPC分类: