一种电压非对称双向TVS器件及其制造方法
摘要:
本发明公开了一种电压非对称双向TVS器件及其制造方法,包括N型半导体衬底,N型半导体衬底的上侧设置有N型外延层,N型外延层和N型半导体衬底均设置有第一钝化层,N型外延层的内部设置有P型注入区,P型注入区的两侧均设置有P型掺杂区,P型注入区的上侧且位于N型外延层的内部处设置有N型掺杂区,本器件通过N型半导体衬底、P型注入区、N型掺杂区等的设置,成功实现了一个TVS器件即可对两个不同耐压等级的线路进行保护,极大提高了本器件的使用效率,同时,由于本发明采用了N型半导体衬底和N型外延层,大大降低了本器件制造的工艺难度及成本,且制造方法凝练、易操作,具有很大的应用前景。
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