发明公开
摘要:
本发明的实施例提供了一种气动补料长晶设备和方法,涉及长晶设备技术领域。气动补料长晶设备包括单向阀、送粉器、第一气体支路、第二气体支路和旁通支路;单向阀安装在坩埚的底部,送粉器通过管路连接到单向阀、且与坩埚的内部连通,第一气体支路和第二气体支路均连接到送粉器、用于分别向送粉器中通入氩气和氮气,送粉器中用于装入硅粉,送粉器中的硅粉在氩气或氮气的冲力作用下补入到坩埚内,第一气体支路和第二气体支路输入的气体可通过旁通支路越过送粉器进入坩埚;该设备和方法能够在长晶过程中向坩埚内补入硅粉,改善坩埚内碳与硅的浓度比,提高长晶的良率,还能够使碳化硅粉末原料利用率提高,减少原料浪费。
公开/授权文献
- CN117187961B 气动补料长晶设备和方法 公开/授权日:2024-07-19
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