隔离电容以及隔离电容的制备方法
Abstract:
本发明涉及芯片技术领域,公开了一种隔离电容以及隔离电容的制备方法。所述隔离电容包括:设于基底上的下极板;设于所述下极板上的第一绝缘介质;设于所述第一绝缘介质内的金属层,其中所述金属层的边缘为平滑曲面结构,以及所述平滑曲面结构与所述金属层的配合面为切面;以及设于所述第一绝缘介质上的上极板,其中所述上极板与所述金属层经由金属通道相连。本发明至少部分解决隔离电容的上极板的金属末端尖角及侧边放电问题,同时将上极板的高电压、强电场引入到二氧化硅体内,避免不同介质层界面处(易击穿点)发生击穿导致器件失效的问题。
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