一种晶体与坩埚同向旋转的长晶方法
摘要:
本发明公开一种晶体与坩埚同向旋转的长晶方法,属于晶体生长领域,是一种有效控制晶棒氧含量的长晶方法,该方法包括备料、引晶、放肩、等径和收尾步骤。长晶过程中,采用坩埚与晶体同向旋转的方式进行晶体生长,自引晶前稳温开启坩埚旋转,坩埚与晶体旋转方向都为籽晶安装于籽晶轴的旋紧方向,在放肩过程中根据晶体与熔汤的雷诺系数比,对晶体和坩埚转速进行分阶段设定,并在转肩阶段对PID设定提出较优解。等径步骤中,依照模拟结果保持最优坩埚与晶体旋转速度,直至收尾。通过晶体和坩埚转速的调整并配合温度PID调节,研发了一种晶体与坩埚同向旋转的方式进行长晶,有效降低晶棒氧含
公开/授权文献
0/0