发明授权
- 专利标题: 一种晶体与坩埚同向旋转的长晶方法
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申请号: CN202311672479.9申请日: 2023-12-07
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公开(公告)号: CN117364225B公开(公告)日: 2024-02-23
- 发明人: 徐秋峰 , 徐耀辉 , 张忠伟 , 钱煜 , 沈浩 , 孔辉
- 申请人: 天通控股股份有限公司
- 申请人地址: 浙江省嘉兴市海宁市盐官镇建设路1号
- 专利权人: 天通控股股份有限公司
- 当前专利权人: 天通控股股份有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省嘉兴市海宁市盐官镇建设路1号
- 主分类号: C30B15/00
- IPC分类号: C30B15/00 ; C30B15/10 ; C30B15/30 ; C30B29/06
摘要:
本发明公开一种晶体与坩埚同向旋转的长晶方法,属于晶体生长领域,是一种有效控制晶棒氧含量的长晶方法,该方法包括备料、引晶、放肩、等径和收尾步骤。长晶过程中,采用坩埚与晶体同向旋转的方式进行晶体生长,自引晶前稳温开启坩埚旋转,坩埚与晶体旋转方向都为籽晶安装于籽晶轴的旋紧方向,在放肩过程中根据晶体与熔汤的雷诺系数比,对晶体和坩埚转速进行分阶段设定,并在转肩阶段对PID设定提出较优解。等径步骤中,依照模拟结果保持最优坩埚与晶体旋转速度,直至收尾。通过晶体和坩埚转速的调整并配合温度PID调节,研发了一种晶体与坩埚同向旋转的方式进行长晶,有效降低晶棒氧含
公开/授权文献
- CN117364225A 一种晶体与坩埚同向旋转的长晶方法 公开/授权日:2024-01-09
IPC分类: