本实施例提供了一种超临界流体制造装置，属于晶圆清洗，包括气源、第一缓冲组件、第二缓冲组件和干燥组件。其中气源内储存并提供介质；第一缓冲组件与气源通过管道连接，第一缓冲组件适于消除液体介质内的脉动；第二缓冲组件与第一缓冲组件通过管路连接，第二缓冲组件适于消除液体介质内部的脉动；其中干燥组件与第二缓冲组件连接，干燥组件适于干燥介质。本方案中气源提供的介质会经过第一缓冲组件和第二缓冲组件，经过两次缓冲能够有效消除介质内的脉动，从而保证进入干燥室内的介质的稳定性。