本发明提供了一种硅异质结太阳电池及其制作方法，该硅异质结太阳电池的制作方法通过采用激光加热的方式对蓝膜片正面和背面分别按照预定图形进行图形化加热，降低透明导电氧化物层加热部位的局部方阻值，同时不影响透明导电氧化物层其他区域材料的透光特性，然后在激光加热图形基础上叠加制备金属栅线电极。该制作方法可以在不影响太阳电池短路电流的情况下，降低透明导电氧化物层和金属栅线电极之间界面的接触电阻和太阳电池的串联电阻，以提升太阳电池的转换效率。