太阳能电池的制备方法及其制备设备

    公开(公告)号:CN118173663A

    公开(公告)日:2024-06-11

    申请号:CN202410464422.8

    申请日:2024-04-17

    IPC分类号: H01L31/20 H01L31/0747

    摘要: 本申请提供了一种太阳能电池的制备方法及其制备设备,该制备方法包括:提供衬底,衬底具有相对的第一表面和第二表面;将衬底置于第一臭氧环境中,使第一臭氧环境中的臭氧与衬底的外表面反应,以在外表面形成第一隔离层,得到第一基体;形成至少位于第一基体靠近第一表面一侧的第一类型掺杂层;形成至少位于第一基体靠近第二表面一侧的第二类型掺杂层,第一类型掺杂层和第二类型掺杂层分别选自N型掺杂半导体层和P型掺杂半导体层;第一隔离层将衬底与第一类型掺杂层进行了隔离,将衬底与第二类型掺杂层进行了隔离,有效避免了太阳能电池内部产生短路回路,进而导致的太阳能电池的并联电阻降低的风险。