一种通过电场调控响应波段的氧化镓基深紫外探测器及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种通过电场调控响应波段的氧化镓基深紫外探测器及其制备方法,包括:由上而下依次设置的金属电极(1)、修饰层(2)、光吸收层(3)和衬底(4),所述金属电极(1)与所述光吸收层(3)之间形成欧姆接触,所述光吸收层(3)为Ga2O3薄膜,所述修饰层(2)采用分散的NiO纳米颗粒,所述衬底(4)为蓝宝石衬底。本发明探测器,不仅在深紫外区域具备优异的光电性能,而且通过简单的电场调控即可实现对深紫外区域内不同波段的区分检测。
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