Invention Publication
- Patent Title: 基板清洗刷及基板清洗装置
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Application No.: CN202311238001.5Application Date: 2023-09-25
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Publication No.: CN117772650APublication Date: 2024-03-29
- Inventor: 冲田展彬 , 中村一树 , 冈田吉文 , 安武阳介 , 石川道明 , 大野拓也 , 石井弘晃 , 中野佑太
- Applicant: 株式会社斯库林集团
- Applicant Address: 日本京都府
- Assignee: 株式会社斯库林集团
- Current Assignee: 株式会社斯库林集团
- Current Assignee Address: 日本京都府
- Agency: 北京市金杜律师事务所
- Agent 陈伟; 刘伟志
- Priority: 2022-153021 20220926 JP
- Main IPC: B08B1/12
- IPC: B08B1/12 ; B08B1/32 ; H01L21/67 ; A46B13/00 ; A46B13/02 ; A46B13/04 ; B08B3/02 ; B08B5/02
Abstract:
本发明提供一种基板清洗刷及基板清洗装置。基板清洗刷包括清洗部，在基板的清洗中使用。清洗部具有在清洗基板时能够与基板接触的清洗面。在清洗面上形成切缝。清洗部通过切缝被划分成多个清洗块。在清洗面与基板接触时，通过清洗部的弹性变形，各清洗块和与该清洗块相邻的清洗块彼此接触。
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