发明公开
- 专利标题: 一种体声波谐振器的制备方法及体声波谐振器
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申请号: CN202410271666.4申请日: 2024-03-11
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公开(公告)号: CN118100840A公开(公告)日: 2024-05-28
- 发明人: 张标 , 陈高鹏
- 申请人: 睿思微系统(烟台)有限公司
- 申请人地址: 山东省烟台市经济技术开发区贵阳大街13号1#厂房
- 专利权人: 睿思微系统(烟台)有限公司
- 当前专利权人: 睿思微系统(烟台)有限公司
- 当前专利权人地址: 山东省烟台市经济技术开发区贵阳大街13号1#厂房
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 杨华
- 主分类号: H03H3/02
- IPC分类号: H03H3/02 ; H03H9/25 ; H03H9/05 ; H03H9/10
摘要:
本发明公开了一种体声波谐振器的制备方法及体声波谐振器,应用于体声波谐振器技术领域,包括:在基底表面设置压电层;刻蚀压电层的表面,以在压电层对应电极层边缘的区域形成台阶面;在压电层表面设置电极材料,以基于台阶面形成边缘具有凹凸结构的电极层;基于电极层制备体声波谐振器。通过在压电层表面刻蚀出台阶面,然后在压电层表面设置覆盖压电层的导电材料,只需要通过一次图案化就可以一次性形成电极层以及在电极层边缘设置凹凸结构,大大简化了体声波谐振器的制备流程。而通过调整部分刻蚀压电层的深度形成谐振器有效区不同的厚度,进而形成不同的谐振器频率,实现体声波滤波器的制作。