氢气传感器的制备方法及氢气传感器
摘要:
本申请公开了一种氢气传感器的制备方法及氢气传感器,方法包括:提供第一衬底;在第一衬底上镀黏附层和金属牺牲层;在金属牺牲层上形成金属层,金属层形成有环境电阻和加热电阻;在金属层上涂覆第一光刻胶,并坚膜形成支撑膜层,第一光刻胶为SU‑8光刻胶;在支撑膜层上涂覆第一光刻胶,并采用光刻技术形成支撑柱层;提供第二衬底;在第二衬底上涂覆粘合剂,并粘合第二衬底和支撑柱层,得到传感器模型;将传感器模型放置于刻蚀液中,使第一衬底脱离金属层。本申请有利于在简化氢气传感器的生产工艺的同时,提高成品的良品率。
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