发明授权
- 专利标题: 氢气传感器的制备方法及氢气传感器
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申请号: CN202410544011.X申请日: 2024-05-06
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公开(公告)号: CN118125373B公开(公告)日: 2024-07-02
- 发明人: 周军 , 欧宗现 , 李南奇 , 孙树清 , 谢昊苏 , 萧彤 , 谭建熙 , 张富源 , 刘斌 , 杜野
- 申请人: 港华能源创科(深圳)有限公司 , 清华大学深圳国际研究生院 , 卓度计量技术(深圳)有限公司 , 深圳市汇北川电子技术有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市福田区福保街道福保社区桃花路与槟榔道交汇处西北深九科技创业园5号楼209E; ; ;
- 专利权人: 港华能源创科(深圳)有限公司,清华大学深圳国际研究生院,卓度计量技术(深圳)有限公司,深圳市汇北川电子技术有限公司
- 当前专利权人: 港华能源创科(深圳)有限公司,清华大学深圳国际研究生院 卓度计量技术(深圳)有限公司 深圳汇北川科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 518000 广东省深圳市福田区福保街道福保社区桃花路与槟榔道交汇处西北深九科技创业园5号楼209E
- 代理机构: 广州三环专利商标代理有限公司
- 代理商 陈舟苗
- 主分类号: B81C1/00
- IPC分类号: B81C1/00 ; C23C14/16 ; C23C14/18 ; G01N27/12
摘要:
本申请公开了一种氢气传感器的制备方法及氢气传感器,方法包括:提供第一衬底;在第一衬底上镀黏附层和金属牺牲层;在金属牺牲层上形成金属层,金属层形成有环境电阻和加热电阻;在金属层上涂覆第一光刻胶,并坚膜形成支撑膜层,第一光刻胶为SU‑8光刻胶;在支撑膜层上涂覆第一光刻胶,并采用光刻技术形成支撑柱层;提供第二衬底;在第二衬底上涂覆粘合剂,并粘合第二衬底和支撑柱层,得到传感器模型;将传感器模型放置于刻蚀液中,使第一衬底脱离金属层。本申请有利于在简化氢气传感器的生产工艺的同时,提高成品的良品率。
公开/授权文献
- CN118125373A 氢气传感器的制备方法及氢气传感器 公开/授权日:2024-06-04