发明公开
- 专利标题： 基于频率确定部件的位置的测量组件
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申请号： CN202410080506.1申请日： 2019-04-30
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公开(公告)号： CN118151496A公开(公告)日： 2024-06-07
- 发明人: M·曼格 , A·凯尼格 , A·沃格勒
- 申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司
- 申请人地址： 德国上科亨
- 专利权人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司
- 当前专利权人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司
- 当前专利权人地址： 德国上科亨
- 代理机构： 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 王蕊瑞
- 优先权： 102018208147.6 20180524 DE
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20 ; G01B9/02018 ; G01B9/02017 ; G01B9/02001 ; G01B9/02003
摘要：
本发明涉及一种特别是在微光刻的光学系统中基于频率确定部件的位置的测量组件，其包括至少一个光学谐振器，所述谐振器包括固定的第一谐振器反射镜、与所述部件相关联的可移动测量目标、和固定的第二谐振器反射镜，所述第二谐振器反射镜由逆向反射镜(130、330、430、530)形成，所述逆向反射镜使来自所述测量目标的测量束反射回其本身。
IPC分类:
