- 专利标题: 一种用于芯片封装电沉积铜填充工艺的电解液
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申请号: CN202410151138.5申请日: 2024-02-02
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公开(公告)号: CN118186514B公开(公告)日: 2024-09-20
- 发明人: 郭岚峰 , 付艳梅 , 贺兆波 , 叶瑞 , 秦祥 , 刘仁龙 , 谭童
- 申请人: 重庆大学
- 申请人地址: 重庆市沙坪坝区沙正街174号
- 专利权人: 重庆大学
- 当前专利权人: 重庆大学
- 当前专利权人地址: 重庆市沙坪坝区沙正街174号
- 代理机构: 重庆缙云专利代理事务所
- 代理商 马健
- 主分类号: C25D3/38
- IPC分类号: C25D3/38 ; C25D7/00 ; H05K3/42 ; H05K3/00 ; H01L21/768
摘要:
本发明提供一种用于芯片封装电沉积铜填充工艺的电解液。其电沉积铜电解液含有加速剂、抑制剂、整平剂等添加剂。本发明提供的添加剂同时具有磺酸基、双硫键以及苯并噻唑结构,以双硫健为中心以对称结构引入苯并噻唑结构,并在分子链两端引入磺酸基,在确保良好的水溶性的同时,加速剂中N+、S原子、噻唑环作为活性位点使所述加速剂吸附在铜表面,加速剂分子两端的磺酸基更好的协同氯离子加速铜离子的沉积。本加速剂不含钠离子,避免后续封测工艺对电信号传输的影响,苯杂环结构设计显著降低了镀层分子间的内应力作用。本发明提供的加速剂配置的电镀液,能够满足深宽比超过1的通孔充填,符合先进封装的要求,具有广阔的应用前景。
公开/授权文献
- CN118186514A 一种用于芯片封装电沉积铜填充工艺的整平剂及电沉积铜电解液 公开/授权日:2024-06-14