一种用于芯片封装电沉积铜填充工艺的电解液
摘要:
本发明提供一种用于芯片封装电沉积铜填充工艺的电解液。其电沉积铜电解液含有加速剂、抑制剂、整平剂等添加剂。本发明提供的添加剂同时具有磺酸基、双硫键以及苯并噻唑结构,以双硫健为中心以对称结构引入苯并噻唑结构,并在分子链两端引入磺酸基,在确保良好的水溶性的同时,加速剂中N+、S原子、噻唑环作为活性位点使所述加速剂吸附在铜表面,加速剂分子两端的磺酸基更好的协同氯离子加速铜离子的沉积。本加速剂不含钠离子,避免后续封测工艺对电信号传输的影响,苯杂环结构设计显著降低了镀层分子间的内应力作用。本发明提供的加速剂配置的电镀液,能够满足深宽比超过1的通孔充填,符合先进封装的要求,具有广阔的应用前景。
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