一种芯片封装用硫酸铜电镀液配制装置及方法

    公开(公告)号:CN118908437A

    公开(公告)日:2024-11-08

    申请号:CN202410402683.7

    申请日:2024-04-03

    申请人: 重庆大学

    摘要: 本发明公开了一种芯片封装用硫酸铜电镀液配制装置及方法,涉及芯片封装技术领域,其技术方案要点是:包括五水硫酸铜储罐、负压进料机、进料体积仓、电子秤、硫酸铜溶液配制槽、配制泵一、微孔过滤器一、树脂桶、电镀液配制槽、螺旋喷头、配制泵二、换热器、微孔过滤器二;五水硫酸铜储罐经负压进料机、进料体积仓、电子秤与硫酸铜溶液配制槽连接;硫酸铜溶液配制槽经过微孔过滤器一、树脂桶与电镀液配制槽连通,硫酸铜溶液在硫酸铜溶液配制槽配制后通过配制泵一加入电镀液配制槽;电镀液配制槽与配制泵二、换热器形成循环系统,并经微孔过滤器二进行电镀液充填。本发明的整套配制装置采用自动化仪表及逻辑控制,全流程可实现自动化与智能化操作。

    一种用于芯片封装电沉积铜填充工艺的电解液

    公开(公告)号:CN118186514B

    公开(公告)日:2024-09-20

    申请号:CN202410151138.5

    申请日:2024-02-02

    申请人: 重庆大学

    摘要: 本发明提供一种用于芯片封装电沉积铜填充工艺的电解液。其电沉积铜电解液含有加速剂、抑制剂、整平剂等添加剂。本发明提供的添加剂同时具有磺酸基、双硫键以及苯并噻唑结构,以双硫健为中心以对称结构引入苯并噻唑结构,并在分子链两端引入磺酸基,在确保良好的水溶性的同时,加速剂中N+、S原子、噻唑环作为活性位点使所述加速剂吸附在铜表面,加速剂分子两端的磺酸基更好的协同氯离子加速铜离子的沉积。本加速剂不含钠离子,避免后续封测工艺对电信号传输的影响,苯杂环结构设计显著降低了镀层分子间的内应力作用。本发明提供的加速剂配置的电镀液,能够满足深宽比超过1的通孔充填,符合先进封装的要求,具有广阔的应用前景。

    一种芯片封装用铜电镀液及其制备方法

    公开(公告)号:CN118292061A

    公开(公告)日:2024-07-05

    申请号:CN202410417384.0

    申请日:2024-04-08

    申请人: 重庆大学

    IPC分类号: C25D3/38 C08B37/08

    摘要: 本发明提供了一种芯片封装用铜电镀液及其制备方法,涉及芯片封装技术领域。本发明提供了巯基化壳聚糖季铵盐作为电镀铜整平剂的应用,所述巯基化壳聚糖季铵盐作为电镀铜整平剂,具有良好的抑制和整平作用,无需搭配抑制剂,并且所述巯基化壳聚糖季铵盐无毒,生物相容性好,可生物降解,环境友好。本发明提供了一种芯片封装用铜电镀液,包括硫酸铜、硫酸、盐酸、整平剂、加速剂、柔软剂和水,所述整平剂为巯基化壳聚糖季铵盐。本发明提供的铜电镀液中巯基化壳聚糖季铵盐具有良好的抑制和整平作用,电镀液无需添加抑制剂;柔软剂可以改善铜镀层力学性能,便于后续加工。本发明提供的芯片封装用铜电镀液电镀效果好,镀层光亮、平整、表面无明显缺陷。

    直接在压滤板框内无害化处理电解锰渣的方法

    公开(公告)号:CN104690080B

    公开(公告)日:2016-08-24

    申请号:CN201510139926.3

    申请日:2015-03-28

    申请人: 重庆大学

    IPC分类号: B09B3/00 B09B5/00

    摘要: 直接在压滤板框内无害化处理电解锰渣的方法,该方法处理的电解锰渣,是位于板框压滤机的压滤板框内经压滤后的滤饼,处理剂中有磷酸二氢钠、氧化钙、氧化镁和聚丙烯酰胺。其步骤有:(1)采用磷酸二氢钠与水混合后的溶液洗涤各压滤板框内电解锰渣滤饼;(2)将氧化镁、氧化钙和聚丙烯酰胺溶于步骤(1)收集的滤液后,对电解锰渣滤饼进行再次洗涤;(3)收集步骤(2)产生的滤液,松开板框压滤机卸下滤饼,即得到被无害化处理后的电解锰渣。本发明在固定电解锰渣中的可溶性锰的同时,也一并固定了其中的可溶性氨氮,与现有技术相比,本发明既保留了其优点,又克服其不足——降低了无害化处理电解锰渣的总成本。

    一种芯片厂环保回收硫酸制备高纯硫酸铜的方法

    公开(公告)号:CN117210822A

    公开(公告)日:2023-12-12

    申请号:CN202311067443.8

    申请日:2023-08-23

    申请人: 重庆大学

    IPC分类号: C25B1/01 C25B1/50 C01G3/10

    摘要: 本发明提供一种芯片厂环保回收硫酸制备高纯硫酸铜的方法。针对芯片制程中产生的SPM废液,本发明先进行预处理,然后采用混沌电路对其进行电催化氧化,再送入电解槽,以高纯铜片为阳极进行电解制备硫酸铜。所述电解后的硫酸铜溶液可经过微孔膜过滤、蒸发浓缩、冷却结晶,得到高纯度硫酸铜,达到芯片封装电镀级要求。本发明工艺简单,综合利用芯片厂产生的硫酸与双氧水混合废液,采用电解工艺制备出半导体封装用电镀级高纯硫酸铜,变废为宝,形成硫资源的梯级、高值化利用模式。

    一种用于芯片封装电沉积铜填充工艺的加速剂及电沉积铜电解液

    公开(公告)号:CN118272879A

    公开(公告)日:2024-07-02

    申请号:CN202410305104.7

    申请日:2024-03-18

    申请人: 重庆大学

    IPC分类号: C25D3/38 C25D21/14

    摘要: 本发明属于芯片封装技术领域,公开了一种用于芯片封装电沉积铜填充工艺的加速剂及电沉积铜电解液,本发明提供的电沉积铜电解液含有加速剂,该加速剂是以双硫键为中心,空间对称引入苯并噻唑结构,并在分子链两端引入磺酸基获得,其结构同时具有磺酸基、双硫键以及苯并噻唑结构,在确保良好的水溶性的同时,该加速剂中N+、S原子和噻唑环可作为活性位点,使加速剂吸附在铜表面,其分子两端的磺酸基能更好的协同氯离子加速铜离子的沉积。本发明的加速剂相较于传统加速剂,不含钠离子,避免后续封测工艺对电信号传输的影响,且本发明提供的加速剂配置的电镀液,能够满足深宽比超过1的通孔充填,符合先进封装的要求,具有广阔的应用前景。

    一种用于芯片封装电沉积铜填充工艺的整平剂及电沉积铜电解液

    公开(公告)号:CN118186514A

    公开(公告)日:2024-06-14

    申请号:CN202410151138.5

    申请日:2024-02-02

    申请人: 重庆大学

    摘要: 本发明提供一种用于芯片封装电沉积铜填充工艺的加速剂及电沉积铜电解液。其电沉积铜电解液含有加速剂、抑制剂、整平剂等添加剂。本发明提供的添加剂同时具有磺酸基、双硫键以及苯并噻唑结构,以双硫健为中心以对称结构引入苯并噻唑结构,并在分子链两端引入磺酸基,在确保良好的水溶性的同时,加速剂中N+、S原子、噻唑环作为活性位点使所述加速剂吸附在铜表面,加速剂分子两端的磺酸基更好的协同氯离子加速铜离子的沉积。本加速剂不含钠离子,避免后续封测工艺对电信号传输的影响,苯杂环结构设计显著降低了镀层分子间的内应力作用。本发明提供的加速剂配置的电镀液,能够满足深宽比超过1的通孔充填,符合先进封装的要求,具有广阔的应用前景。