发明公开
- 专利标题： 处理液排放组件和处理液排放方法
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申请号： CN202311681572.6申请日： 2023-12-08
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公开(公告)号： CN118197954A公开(公告)日： 2024-06-14
- 发明人: 李炅珉 , 金兑根 , 金康卨
- 申请人： 细美事有限公司
- 申请人地址： 韩国忠清南道
- 专利权人： 细美事有限公司
- 当前专利权人： 细美事有限公司
- 当前专利权人地址： 韩国忠清南道
- 代理机构： 北京钲霖知识产权代理有限公司
- 代理商 李英艳; 冯志云
- 优先权： 10-2022-0175290 20221214 KR
- 主分类号： H01L21/67
- IPC分类号： H01L21/67 ; F16L39/00
摘要：
本发明涉及一种处理液排放组件和处理液排放方法，并且所述处理液排放组件包括：排出歧管，所述排出歧管连接到基底处理设备的至少一个排放管线，并且被配置为限定预定容纳空间以临时容纳处理液；以及排出管，所述排出管连接到所述容纳空间的底表面，其中，所述排出管在排出歧管的所述容纳空间中限定具有预定高度的水平差，并且所述排出管从所述容纳空间的所述底表面朝向所述容纳空间的上侧突出所述预定高度以限定临时容纳所述处理液的缓冲空间。
IPC分类:
