本发明公开了一种用于PAN型刻蚀液湿法刻蚀的抑菌水洗干燥装置；所述抑菌水洗干燥装置包括依次连接的第一水洗区间、第二水洗区间和风干区间；所述抑菌水洗干燥装置还包括抑菌循环系统，所述抑菌循环系统包括抑菌循环管和抑菌循环泵，所述抑菌循环管上缠绕有超导螺线圈；所述水箱上还设有振荡腔，所述振荡腔内设有压电换能器，所述振荡腔的一面连接抑菌循环管，所述振荡腔相对的另一面形成倒V字型凹陷并且连接文杜里管，所述文杜里管的出口连接矢量喷管，所述矢量喷管设置在水箱内；所述风干区间的入口处设有气帘风刀，所述气帘风刀用于沿着竖直方向吹气形成气帘，防止第二水洗区间的水汽进入风干区间。本发明解决了水洗干燥装置中的细菌问题。