一种规避顶Mo缩进的湿法刻蚀装置

    公开(公告)号:CN117153723A

    公开(公告)日:2023-12-01

    申请号:CN202311113227.2

    申请日:2023-08-31

    申请人: 重庆大学

    IPC分类号: H01L21/67 H01L21/306 B05D3/06

    摘要: 本发明公开了一种规避顶Mo缩进的湿法刻蚀装置;所述湿法刻蚀装置按照基板的传输方向依次设有干区间、刻蚀区间、缓冲区间、水洗区间和风干区间;所述刻蚀区间内设有第一磁铁装置,所述缓冲区间内还设有第二磁铁装置,所述湿法刻蚀装置还包括涡流管,所述缓冲区间内还设有热风口和第一排气口,所述缓冲风刀的外形设置成弧形,缓冲风刀的斜上方设有热气管,热气管的喷嘴正对缓冲风刀,所述涡流管的热气支管分别与热风口和热气管连通;所述湿法刻蚀装置还包括冷却装置,所述涡流管的冷气支管与冷却装置连通。本发明能够有效地避免Mo/Al、Mo/Al/Mo刻蚀制程中的顶Mo缩进问题,避免显示污渍等品质问题,确保产品品质和良率。

    一种避免寄生栅极效应和斜纹Mura的光刻胶剥离装置

    公开(公告)号:CN117130235A

    公开(公告)日:2023-11-28

    申请号:CN202311113226.8

    申请日:2023-08-31

    申请人: 重庆大学

    IPC分类号: G03F7/42

    摘要: 本发明公开了一种避免寄生栅极效应和斜纹Mura的光刻胶剥离装置;所述光刻胶剥离装置按照基板的传输方向依次设有干区间、剥离区间、热水洗区间、过冷水洗区间和风干区间;所述剥离区间的出口处设有用于向基板表面吹热风的热风刀,所述热水洗区间内设有用于向基板表面喷淋热水的第二喷淋管;所述过冷水洗区间的入口处设有用于向基板表面吹冷风的冷风刀,所述过冷水洗区间内设有用于向基板表面喷淋过冷水的第三喷淋管;所述光刻胶剥离装置还包括涡流管、加热装置和冷却装置。本发明规避了寄生栅极效应、斜纹Mura造成的产品良率和品质风险;并保证了光刻胶剥离设备的通用性,有益于产线物流优化和产能提升。

    ITO刻蚀液结晶抑制装置
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115105858A

    公开(公告)日:2022-09-27

    申请号:CN202210710320.0

    申请日:2022-06-22

    申请人: 重庆大学

    摘要: 本发明公开了一种ITO刻蚀液结晶抑制装置;所述ITO刻蚀液结晶抑制装置包括离子吸附循环系统和结晶物去除循环系统;所述离子吸附循环系统包括离子吸附管道、第一加热装置和离子吸附装置;所述结晶物去除循环系统包括结晶物去除管道、冷却装置、离心过滤机和第二加热装置。本发明能够有效的使ITO刻蚀液中的金属离子浓度保持低水平,并且高效的去除ITO刻蚀液中的结晶物。

    石膏砌块推料机
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105000332A

    公开(公告)日:2015-10-28

    申请号:CN201510305182.8

    申请日:2015-06-03

    申请人: 重庆大学

    IPC分类号: B65G25/08

    摘要: 本发明公开了一种石膏砌块推料机,属于石膏砌块生产设备技术领域,包括机架、推料机构、阻挡机构、清擦机构和U型槽机构,所述推料机构包括进行推料操作的电液推杆、直线导轨和推料推头机构,所述推料推头机构包括多个推头和将推头固定于其端部、长度可调的推杆,所述推杆的另一端通过推杆座与电液推杆连接滑动设置在直线导轨上,所述多个推头在宽度方向等距均匀分布,且相对于电液推杆中心轴线对称分布,在长度上呈中间长、两侧短的抛物线分布。通过推料机构、阻挡机构、清擦机构和U型槽机构使推料机能够快速且平稳推送石膏砌块,且能保证石膏砌块的质量和保持U型槽和石膏砌块磨具的清洁度,具有操作简单、制作成本低、砌块质量高等优点。

    基于柔性拧紧装配的矩形橡胶密封圈轴向形变量的软测量方法

    公开(公告)号:CN104807432A

    公开(公告)日:2015-07-29

    申请号:CN201510255740.4

    申请日:2015-05-19

    申请人: 重庆大学

    IPC分类号: G01B21/32

    CPC分类号: G01B21/32

    摘要: 本发明涉及一种基于柔性拧紧装配的矩形橡胶密封圈轴向形变量的软测量方法,包括以下步骤:1)构建橡胶材料的Mooney-Rivlin本构关系模型;2)根据本构关系建立橡胶材料应变不变量和工程应力的关系模型;3)构建橡胶材料的单轴拉伸模型,计算出由轴向形变率表示的应变不变量;4)将轴向形变率表示的应变不变量带入到应变不变量和工程应力关系模型中,得出轴向工程应力应变关系模型;5)采用罚函数将橡胶矩形圈轴向应变率和工程应力的数值模型转化成橡胶矩形圈轴向应变率和工程转动摩擦力的数值模型;6)将橡胶矩形圈轴向应变率和工程转动摩擦力的数值模型转化成橡胶矩形圈轴向应变率和拧紧扭矩的数值模型。本方法实现了在柔性拧紧装配中橡胶矩形密封圈轴向形变量的软检测。

    弹体柔性拧紧装置
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103949876A

    公开(公告)日:2014-07-30

    申请号:CN201410205335.7

    申请日:2014-05-15

    申请人: 重庆大学

    IPC分类号: B23P19/04

    摘要: 本发明公开了一种弹体柔性拧紧装置,包括拧紧平台,所述拧紧平台上设置有拧紧机构和用于夹持与定位弹体的护弹机构,所述拧紧平台上还设置有用于驱动拧紧机构水平移动的拧紧机构驱动装置;所述拧紧机构包括拧紧伺服电机和设置在拧紧伺服电机输出端的扭矩传感器和拧紧头;所述护弹机构包括上固定梁、下固定梁、上滑动梁、下滑动梁和导向柱,所述上、下固定梁固定在导向柱上,所述上、下滑动梁均可在导向柱上上下滑动,所述上、下滑动梁上分别设置有上压块和下压块,所述上固定梁上设置有上滑动梁驱动装置,所述下固定梁上设置有下滑动梁驱动装置;本发明提高了弹体拧紧工作效率和拧紧精度,并避免了弹体出现不可恢复的明显变形和外观损伤。

    基于Petri网控制流程建模的创建石膏砌块成型生产线方法

    公开(公告)号:CN103389704A

    公开(公告)日:2013-11-13

    申请号:CN201310302739.3

    申请日:2013-07-18

    申请人: 重庆大学

    IPC分类号: G05B19/418

    摘要: 基于Petri网控制流程建模的创建石膏砌块成型生产线方法,涉及一种石膏砌块生产线,特别是一种基于Petri网创建石膏砌块生产线的方法,具体步骤为:1)功能模块的划分;2)功能模块操作序列映射的建立;3)监督控制器模型的建立;4)基于Petir网的控制流程模型的建立;5)确定控制流程模型的具体参数;6)建立生产线。它可以通过建模优化石膏砌块生产线,简化生产线的构造,同时提高生产线的工作效率。