一种纳米网格石墨烯可饱和吸收体及其制备方法
摘要:
一种纳米网格石墨烯可饱和吸收体,所述纳米网格石墨烯可饱和吸收体依次包括砷化镓衬底层、布拉格反射层、量子阱吸收层、SiO2纳米柱层、石墨烯纳米网格层;所述SiO2纳米柱层的厚度为100‑300nm;石墨烯纳米网格层使用单层石墨烯;所述石墨烯纳米网格层和SiO2纳米柱层为相同的点阵结构和反点阵结构。所述纳米网格石墨烯可饱和吸收体可以控制石墨烯带隙,氧化硅纳米柱可以限制载流子逃逸,形成局域等离子增强效应,协同作用增强可饱和吸收效果。所述制备方法可重复性好,且在工艺流程中不需要电子束曝光等高精度纳米级光刻,成本低,效率高。
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