Invention Publication
- Patent Title: 涂覆设备、处理腔室和涂覆基板的方法以及用至少一个材料层涂覆的基板
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Application No.: CN202410216357.7Application Date: 2019-10-28
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Publication No.: CN118241168APublication Date: 2024-06-25
- Inventor: W·布劳恩 , J·曼哈特
- Applicant: 马克斯·普朗克科学促进学会
- Applicant Address: 德国慕尼黑
- Assignee: 马克斯·普朗克科学促进学会
- Current Assignee: 马克斯·普朗克科学促进学会
- Current Assignee Address: 德国慕尼黑
- Agency: 北京市中伦律师事务所
- Agent 赵嫦
- Priority: 102018127262.6 20181031 DE
- Main IPC: C23C14/28
- IPC: C23C14/28 ; C30B23/02 ; C30B23/06 ; C30B30/00 ; C23C14/50 ; C23C14/54 ; C23C14/08 ; C30B29/32
Abstract:
本发明涉及一种用由层材料(58)制成的至少一个材料层(56)涂覆由基板材料(54)制成的基板(52)的涂覆设备(1)。本发明还涉及一种用于涂覆设备(1)的处理腔室(10)，所述涂覆设备(1)用由层材料(58)制成的至少一个材料层(56)涂覆由基板材料(54)制成的基板(52)。本发明还涉及一种在涂覆设备(1)中用由层材料(58)制成的至少一个材料层(56)涂覆由基板材料(54)制成的基板(52)的方法。本发明的另一方面涉及一种用至少一个材料层(56)涂覆的基板(52)，包括用由层材料(58)制成的至少一个材料层(56)涂覆的由基板材料(54)制成的所述基板(52)。
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