本发明提供了一种银合金靶材及其制备方法和应用，属于有机发光二极管（OLED）器件的阳极材料技术领域。本发明在纯银中添加锌和钕，锌在银中的固溶度较高，添加锌可以形成固溶强化，增加银的强度，稀土钕元素在银合金中除了典型的固溶强化作用外，还能够改善银合金的凝固，从而产生细化晶粒的效果，并且在热处理过程中，钕元素也能起到细化晶粒的效果，同时在溅射成膜时，钕原子有钉扎作用，从而提高薄膜的粘附性能，控制锌和钕的含量，使得银合金靶材适合于溅射镀膜工艺，制备得到同时具有良好导电率、反射率、粘附性、表面粗糙度和可靠性的银合金薄膜和ITO/Ag合金/ITO薄膜。