本发明公开了一种大视场高分辨率斜投影镜头及应用，包括沿光传播方向依次布置的第一球面透镜、第二球面透镜、第三柱透镜、第四柱透镜、第五球面透镜、第六球面透镜；其中，第一球面透镜和第二球面透镜为正光焦度球面透镜，第三柱透镜为正光焦度柱透镜，第四柱透镜为负光焦度柱透镜，第五球面透镜为负光焦度球面透镜，第六球面透镜为正光焦度球面透镜；第三柱透镜和第四柱透镜的母线方向保持平行，且均平行于芯片长边；第三柱透镜和第四柱透镜只用于控制一个Y方向的光焦度，无需控制X方向的光焦度。利用本发明，可以解决大尺寸方形样品检测时投影光源画幅浪费的问题，实现投影镜头的大倍率和投影光源全画幅覆盖样品。