发明公开
- 专利标题: 一种过压浪涌保护器件及其制造方法
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申请号: CN202410849508.2申请日: 2024-06-27
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公开(公告)号: CN118610207A公开(公告)日: 2024-09-06
- 发明人: 邹有彪 , 李盛楠 , 倪侠 , 车振华 , 王全 , 张荣
- 申请人: 富芯微电子有限公司
- 申请人地址: 安徽省合肥市高新区柏堰科技园香蒲路503号
- 专利权人: 富芯微电子有限公司
- 当前专利权人: 富芯微电子有限公司
- 当前专利权人地址: 安徽省合肥市高新区柏堰科技园香蒲路503号
- 代理机构: 合肥正则元起专利代理事务所
- 代理商 王婷婷
- 主分类号: H01L27/02
- IPC分类号: H01L27/02 ; H01L21/266 ; H01L21/324
摘要:
本发明公开了一种过压浪涌保护器件及其制造方法,包括N型半导体衬底,N型半导体衬底设置有第二P型掺杂基区、第一P型掺杂基区,第二P型掺杂基区内设置有第一N型发射区,第一P型掺杂基区内设置有第二N型发射区,N型半导体衬底设置有沟槽区,沟槽区内设置有玻璃钝化层,N型半导体衬底设置有第一N型掺杂区、第二N型掺杂区,第二P型掺杂基区和第一P型掺杂基区均设置有金属层,本发明通过调整N型掺杂区的浓度可以得到适当击穿电压的过压浪涌保护器件,N型掺杂区是在刻蚀出沟槽区后形成的,其浓度和结深非常利于控制,不需要极长的扩散时间,从而能大大缩短瞬态浪涌抑制器的制造周期,使得最终的产品参数稳定,生产效率得到显著提高。
IPC分类: