一种过压浪涌保护器件及其制造方法
摘要:
本发明公开了一种过压浪涌保护器件及其制造方法,包括N型半导体衬底,N型半导体衬底设置有第二P型掺杂基区、第一P型掺杂基区,第二P型掺杂基区内设置有第一N型发射区,第一P型掺杂基区内设置有第二N型发射区,N型半导体衬底设置有沟槽区,沟槽区内设置有玻璃钝化层,N型半导体衬底设置有第一N型掺杂区、第二N型掺杂区,第二P型掺杂基区和第一P型掺杂基区均设置有金属层,本发明通过调整N型掺杂区的浓度可以得到适当击穿电压的过压浪涌保护器件,N型掺杂区是在刻蚀出沟槽区后形成的,其浓度和结深非常利于控制,不需要极长的扩散时间,从而能大大缩短瞬态浪涌抑制器的制造周期,使得最终的产品参数稳定,生产效率得到显著提高。
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