抛光垫粘贴用载体及粘贴方法
摘要:
本发明提供了一种抛光垫粘贴用载体及粘贴方法,属于晶片抛光技术领域,解决了现有技术抛光垫粘接时容易产生气泡凸起的问题。本发明包括支撑座;固定组件,固定组件包括固定件,固定件用于连接抛光垫的边缘部,固定件设置于支撑座上,且固定件具有移动自由度以移动拉伸抛光垫;以及流体供给组件,流体供给组件包括:储液件,储液件设置于支撑座内,储液件用于储液;喷管设置于支撑座内且与储液件通过阀门连接;喷孔设置于支撑座上且与喷管连通,用于供液体喷出至抛光垫。本发明利用支撑座上的流体供给组件向抛光垫喷射液体,抛光垫受液体冲击而紧贴于抛光盘上,从而防止抛光垫与抛光盘之间产生间隙,即降低了二者之间的气泡凸起生成率。
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