一种区熔炉保温装置
摘要:
本发明属于区熔炉保温技术领域,具体的说是一种区熔炉保温装置,包括套设在单晶棒与多晶棒之间的主加热线圈、套设在多晶棒上的辅助加热装置,辅助加热装置包括辅助加热线圈,多晶棒穿过辅助加热线圈,辅助加热线圈上下两端均连接有导线,套设在辅助加热线圈上的冷热交换罩,两组水管,两组水管一端均固定连接冷热交换罩外圈,并且水管连通冷热交换罩内置的腔体;在对多晶棒降温过程中,由于腔体内的水处于不断的流动状态,使水一直处于低温性,从而保持水对热量吸收的高效性,不仅提高对多晶棒降温的效率,同时水将多晶棒散发的热量吸收,实现对热能的回收,从而达到节约资源的目的。
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