发明公开
CN118773719A 一种区熔炉保温装置
审中-实审
- 专利标题: 一种区熔炉保温装置
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申请号: CN202411003872.3申请日: 2024-07-25
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公开(公告)号: CN118773719A公开(公告)日: 2024-10-15
- 发明人: 胡动力 , 黎志欣 , 王人松 , 岳增可 , 贾新旺
- 申请人: 连科半导体有限公司
- 申请人地址: 江苏省无锡市锡山区锡北镇泾虹路15号
- 专利权人: 连科半导体有限公司
- 当前专利权人: 连科半导体有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省无锡市锡山区锡北镇泾虹路15号
- 代理机构: 无锡亿联盛知识产权代理有限公司
- 代理商 刘潇
- 主分类号: C30B13/00
- IPC分类号: C30B13/00 ; C30B29/06
摘要:
本发明属于区熔炉保温技术领域,具体的说是一种区熔炉保温装置,包括套设在单晶棒与多晶棒之间的主加热线圈、套设在多晶棒上的辅助加热装置,辅助加热装置包括辅助加热线圈,多晶棒穿过辅助加热线圈,辅助加热线圈上下两端均连接有导线,套设在辅助加热线圈上的冷热交换罩,两组水管,两组水管一端均固定连接冷热交换罩外圈,并且水管连通冷热交换罩内置的腔体;在对多晶棒降温过程中,由于腔体内的水处于不断的流动状态,使水一直处于低温性,从而保持水对热量吸收的高效性,不仅提高对多晶棒降温的效率,同时水将多晶棒散发的热量吸收,实现对热能的回收,从而达到节约资源的目的。
IPC分类: