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公开(公告)号：CN118773719A
公开(公告)日：2024-10-15
申请号：CN202411003872.3
申请日：2024-07-25
申请人： 连科半导体有限公司
摘要： 本发明属于区熔炉保温技术领域，具体的说是一种区熔炉保温装置，包括套设在单晶棒与多晶棒之间的主加热线圈、套设在多晶棒上的辅助加热装置，辅助加热装置包括辅助加热线圈，多晶棒穿过辅助加热线圈，辅助加热线圈上下两端均连接有导线，套设在辅助加热线圈上的冷热交换罩，两组水管，两组水管一端均固定连接冷热交换罩外圈，并且水管连通冷热交换罩内置的腔体；在对多晶棒降温过程中，由于腔体内的水处于不断的流动状态，使水一直处于低温性，从而保持水对热量吸收的高效性，不仅提高对多晶棒降温的效率，同时水将多晶棒散发的热量吸收，实现对热能的回收，从而达到节约资源的目的。
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公开(公告)号：CN114383434B
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202210039985.3
申请日：2022-01-14
申请人： 连科半导体有限公司
摘要： 本发明属于碳化硅合成领域，具体的说是炉室充气除尘系统，包括炉体、平台架和炉室抽气管道；所述炉体与平台架之间固定连接；所述炉体的炉顶盘的表面固连有第一充气管；所述炉体的炉底盘的表面固连有第二充气管；所述平台架的表面固连有总抽气管；所述总抽气管固连有管路沉积仓；所述炉体的中部位置固连有吸尘罩；所述吸尘罩的排气口固连有炉室抽气管道；通过本发明有效的实现了对合成炉的炉内挥发物以及粉尘等物质的清理，通过上下对流的加压气流，大幅提高了对挥发物以及粉尘清理效果，提高对炉内清理效率，并且清理后的气体会通过负压抽吸的方式快速导出，在合成炉开炉前，保证了对其内部的快速充分净化。
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公开(公告)号：CN113430503B
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202110801121.6
申请日：2021-07-15
申请人： 连科半导体有限公司
IPC分类号： C23C16/458 , C23C16/50 , C23C16/455
摘要： 本发明提供一种可镀多种膜的管式PECVD石墨舟结构，包括多个依次叠放的舟片；所述舟片设有多个镂空区域，所述镂空区域用于安装硅片，且所述镂空区域周围设有至少一个卡住所述硅片的勾点；所述镂空区域安装硅片后，相临两个舟片之间形成独立的且密闭的镀膜通道，所述镀膜通道的延伸方向平行于所述舟片的长度方向，所述舟片在其长度方向的两端分别加工有与所述镀膜通道连通的进气孔和出气孔；所述镀膜通道内通入镀膜气体或惰性气体。本发明单个设备上可以镀多种膜，节省了倒片时间，同时减少倒片过程的划伤，提升了良率。同时避免镀膜过程暴露在空气中，减少污染。
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公开(公告)号：CN220454315U
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202223062303.5
申请日：2022-11-18
申请人： 连科半导体有限公司
摘要： 本实用新型公开了高温熔体溢流保护装置，它涉及碳化硅合成炉漏硅检测技术领域；所述下炉盖的侧壁上固定镶嵌有陶瓷绝缘套，所述陶瓷绝缘套的外端固定连接有KF变径接头，所述真空信号接头的内侧接入不锈钢丝，不锈钢丝依次穿过KF变径接头和陶瓷绝缘套后，再穿入多根小段石英玻璃管，且穿石英玻璃管的不锈钢丝平铺在下炉盖的炉内保温层上，最后不锈钢丝再穿过陶瓷绝缘套和KF变径接头后，与外侧的电源进行连接；它通过不锈钢丝将电源和真空信号接头连接成回路，使真空信号接头发出信号，当炉内出现溶体溢流，高温熔断不锈钢丝后，此时线路电阻波动，外界控制器接收不到信号，则产生报警并执行相关的安全措施，以避免造成更大的伤害。
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