发明公开
CN1188329A 带有稳压管的双极型集成电路及其制造方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 带有稳压管的双极型集成电路及其制造方法
- 专利标题(英): Bipolar integrated circuit with VR-tube and manufacturing method thereof
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申请号: CN97106766.X申请日: 1997-12-08
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公开(公告)号: CN1188329A公开(公告)日: 1998-07-22
- 发明人: 王剑峰 , 须国忠 , 陈学良
- 申请人: 中国科学院上海冶金研究所
- 申请人地址: 上海市长宁区长宁路865号
- 专利权人: 中国科学院上海冶金研究所
- 当前专利权人: 中国科学院上海冶金研究所
- 当前专利权人地址: 上海市长宁区长宁路865号
- 代理机构: 上海华东专利事务所
- 代理商 沈德新
- 主分类号: H01L21/8224
- IPC分类号: H01L21/8224 ; H01L27/08
摘要:
一种带有稳定管的双极型集成电路的制造方法,其系与普通双极型集成电路的制造工艺相兼容,特点是采用二步注入法;一次形成双极型晶体管基区;另一次是用不同剂量形成稳压管的一极,并控制注入量和掺杂区深度以确定稳压管的稳定电压值,因此,本发明的电路包括一个半导体基片,该基片为第一导电型的衬底,表面上经外延生长第二导电型的外延层,该外延层经过隔离即构成双极型第二导电型晶体管的集电极或第一导型晶体管的基板,其特征在于,该外延层上某些区域经掺杂制造出一些第一导电型的区域,这些区域构成第二导电型晶体管的基极和第一导电型晶体管的集电极和发射极以及稳压二极管的一个电极。
公开/授权文献
- CN1051880C 带有稳压管的双极型集成电路及其制造方法 公开/授权日:2000-04-26
IPC分类: