一种硅片去边用对接移载设备
摘要:
本申请提供一种硅片去边用对接移载设备,甩干机构,其配设有可夹持单个不同尺寸硅片的夹持组件,所述夹持组件包括安装板和置于安装板上的多级架和定位柱,在所述多级架上设有用于夹持硅片外边缘的夹持块;移载机构,其配设有相背而置且异向转动的干手指和湿手指,并横跨所述甩干机构悬置,所述湿手指可将湿硅片置放到所述定位柱所围设的空间,并被所述夹持块夹持;所述干手指可将甩干后的干硅片从所述夹持块中取走。本申请一种硅片去边用对接移载设备,可自动收接硅片,并能干湿分类取片,且能多尺寸兼容夹持,结构设计合理,各部件配合精准,置放位置可控,兼容性好,工作效率高且移载速度快。
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