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公开(公告)号：CN115194660B
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202211112626.2
申请日：2022-09-14
申请人： 天津环博科技有限责任公司
摘要： 本发明提供一种硅片喷砂机构，包括：摆杆：用于悬吊喷枪，其上端部的两侧面构造有相背设置的凹仓；滑块组件：构造有相对设置的对开槽孔，所述槽孔能够在喷枪工作时与所述凹仓对扣以卡紧所述摆杆，并抵顶所述摆杆的外壁面使所述摆杆架设在所述滑块组件上。本发明一种硅片喷砂机构，悬吊喷枪的摆杆与控制其往复移动的滑块组件为卡配式结构，既稳固又简单，采用结构受力替代现有的螺栓受力，增加配合强度，延长使用寿命。在摆杆上设置用于调整喷枪高度的可调组件，以适应不同工艺的喷枪高度，防止喷枪脱落。同时在摆杆外部设置防护罩，以保证其与滑块组件配合的稳定性。
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公开(公告)号：CN111430505A
公开(公告)日：2020-07-17
申请号：CN202010306282.3
申请日：2020-04-17
申请人： 天津环博科技有限责任公司
摘要： 本发明提供了一种立式上料插片一体机，包括架体及设置在架体上的硅片传送设备；所述架体的一端设有用于承载转运硅片的承运水箱；所述架体上还设有用于将承运水箱内硅片输送至硅片传送带的上料单元；所述硅片传送设备远离上料单元的一端设有用于将硅片插入片篮的插片单元，插片单元的另一端设有片篮整列机构；所述架体上还对应设有用于将成组片篮转移至清洗工序的清洗机械手。本发明所述的一种立式上料插片一体机，为立式分片方式，有效降低碎片率；弹夹上料机、立式插片机、花篮上料机，三机合一，有效减少控制成本及材料成本，缩减占地面积。
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公开(公告)号：CN112038276A
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN202010956320.X
申请日：2020-09-11
申请人： 天津环博科技有限责任公司
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/687 , H01L31/18
摘要： 本发明创造提供了一种基于硅片插片清洗机插片稳定性增强的机构，包括外部框架、安装在外部框架上的竖向移动模组、以及安装在移动模组上的片篮夹紧组；片篮夹紧组包括承载装置、安装在承载装置上的回弹装置、以及位于承载装置上方的扶正装置；承载装置滑动安装在竖向移动模组上，承载装置上设有承载底板，承载底板上放置有片篮盒，回弹装置安装在承载装置的侧壁上，回弹装置与承载板呈垂直状态，扶正装置安装在承载底板的上方，回弹装置与扶正装置配合将片固定在承载装置上。本发明创造所述的增强的机构结构简单，操作方便，多种定位实现片篮盒稳定运行，大大提高插片稳定性。
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公开(公告)号：CN118866792A
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202411336711.6
申请日：2024-09-25
申请人： 天津环博科技有限责任公司
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67
摘要： 本申请提供一种硅片去边用对接移载设备，甩干机构，其配设有可夹持单个不同尺寸硅片的夹持组件，所述夹持组件包括安装板和置于安装板上的多级架和定位柱，在所述多级架上设有用于夹持硅片外边缘的夹持块；移载机构，其配设有相背而置且异向转动的干手指和湿手指，并横跨所述甩干机构悬置，所述湿手指可将湿硅片置放到所述定位柱所围设的空间，并被所述夹持块夹持；所述干手指可将甩干后的干硅片从所述夹持块中取走。本申请一种硅片去边用对接移载设备，可自动收接硅片，并能干湿分类取片，且能多尺寸兼容夹持，结构设计合理，各部件配合精准，置放位置可控，兼容性好，工作效率高且移载速度快。
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公开(公告)号：CN112038276B
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202010956320.X
申请日：2020-09-11
申请人： 天津环博科技有限责任公司
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/687 , H01L31/18
摘要： 本发明创造提供了一种基于硅片插片清洗机插片稳定性增强的机构，包括外部框架、安装在外部框架上的竖向移动模组、以及安装在移动模组上的片篮夹紧组；片篮夹紧组包括承载装置、安装在承载装置上的回弹装置、以及位于承载装置上方的扶正装置；承载装置滑动安装在竖向移动模组上，承载装置上设有承载底板，承载底板上放置有片篮盒，回弹装置安装在承载装置的侧壁上，回弹装置与承载板呈垂直状态，扶正装置安装在承载底板的上方，回弹装置与扶正装置配合将片固定在承载装置上。本发明创造所述的增强的机构结构简单，操作方便，多种定位实现片篮盒稳定运行，大大提高插片稳定性。
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公开(公告)号：CN115194660A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202211112626.2
申请日：2022-09-14
申请人： 天津环博科技有限责任公司
摘要： 本发明提供一种硅片喷砂机构，包括：摆杆：用于悬吊喷枪，其上端部的两侧面构造有相背设置的凹仓；滑块组件：构造有相对设置的对开槽孔，所述槽孔能够在喷枪工作时与所述凹仓对扣以卡紧所述摆杆，并抵顶所述摆杆的外壁面使所述摆杆架设在所述滑块组件上。本发明一种硅片喷砂机构，悬吊喷枪的摆杆与控制其往复移动的滑块组件为卡配式结构，既稳固又简单，采用结构受力替代现有的螺栓受力，增加配合强度，延长使用寿命。在摆杆上设置用于调整喷枪高度的可调组件，以适应不同工艺的喷枪高度，防止喷枪脱落。同时在摆杆外部设置防护罩，以保证其与滑块组件配合的稳定性。
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公开(公告)号：CN113479625A
公开(公告)日：2021-10-08
申请号：CN202110910339.5
申请日：2021-08-09
申请人： 天津环博科技有限责任公司
摘要： 本发明提供了一种自动去边机自动对中中转台，包括对中机构和平衡机构，对中机构包括硅片吸盘、设置于对中机构下部用于调整硅片吸盘与外部吸盘对中的XY调整台，围绕硅片吸盘对称设置有两个硅片夹爪，两个硅片夹爪通过一个平行夹爪电缸连接并相向移动执行抓取动动作，硅片吸盘上表面设置硅片，并对应硅片设置硅片固定结构，平衡机构包括平衡板和设置于平衡板下侧的固定板，固定板水平设置，平衡板对应固定板设置有平衡组件，对中机构设置于平衡板上侧。本发明所述的对中机构实现了硅片自动对中吸盘中心，同时平衡机构保证了硅片平面与外部吸盘下表面的相对平行，可防止外部吸盘吸取硅片时压碎硅片，提高效率，节省人工成本。
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公开(公告)号：CN216152131U
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202122251113.7
申请日：2021-09-16
申请人： 天津环博科技有限责任公司
IPC分类号： B24C9/00
摘要： 本实用新型提供了一种硅片片盒上载台工装，包括底板、固设于底板上的限位块，所述限位块上设有多种不同规格的凸台，通过不同规格的凸台对不同规格的片盒限位。本实用新型有益效果：限位块上设有不同规格的凸台，通过不同规格的凸台对不同规格的片盒限位，当生产过程中需要更换片盒时，不需要更换上载台工装，即可满足生产的需求，提高了工作效率，进而降低了生产成本。
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公开(公告)号：CN212011005U
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：CN202020583141.1
申请日：2020-04-17
申请人： 天津环博科技有限责任公司
IPC分类号： H01L31/18 , H01L21/677
摘要： 本实用新型提供了一种空蓝与满篮搬运机构，包括搬运组件、以及固定在搬运组件上的夹紧组件；所述搬运组件包括三轴机械手，所述三轴机械手的Z轴机械手一端固定在夹紧组件顶部；所述夹紧组件包括两组夹板、固定组件、控制组件，所述三轴机械手Z轴机械手一端固定在固定组件顶部，所述控制组件安装在固定组件上，两组所述夹板安装在控制组件两端。本实用新型所述的控制组件控制两组夹板将片篮盒夹紧，固定组件在进一步将片篮盒进行固定，防止片篮盒发生侧倾的问题。
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公开(公告)号：CN213111381U
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN202020577999.7
申请日：2020-04-17
申请人： 天津环博科技有限责任公司
摘要： 本实用新型提供了一种硅片立式上料机构，通过架体设置在水池上，包括一级上料机构、二级上料机构、硅片弹夹；所述硅片弹夹和一级上料机构设置在水面以下，硅片弹夹的硅片出口与一级上料机构相邻；所述二级上料为轮状结构，与架体转动连接，上部位于水面以上；所述一级上料机构竖直设置，位于轮状结构的切线方向，上端部与二级上料机构相邻；所述一级上料机构用于吸附硅片弹夹中的硅片并上传至二级上料机构；所述二级上料机构用于将硅片由竖直状态翻转成水平状态，进入下一工序的输送带。本实用新型所述的一种硅片立式上料机构，压片机构与一级上料机构和二级上料机构配合，可以很好的完成硅片的立式上料，上料效果更好。
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